Ууршилтын бүрэлт болон цацалтын бүрэлттэй харьцуулахад ионы бүрэлтийн хамгийн чухал онцлог нь тунадасжилт явагдах үед энергийн ионууд суурь болон хальсан давхаргыг бөмбөгддөг явдал юм. Цэнэглэгдсэн ионуудыг бөмбөгдөх нь голчлон дараах хэд хэдэн үр нөлөөг бий болгодог.
1 Мембран/суурийн холболтын хүч (наалдац) хүчтэй тул хальсан давхарга нь ионы бөмбөгдөлтөөс болж цацалтын нөлөөгөөр амархан унахгүй тул субстратыг цэвэрлэж, идэвхжүүлж, халааж, зөвхөн субстратын гадаргуу дээрх хийн адсорбци болон бохирдсон давхаргыг арилгахаас гадна субстратын гадаргуугийн исэлдэлтийн ион бөмбөгдөлтийг арилгана. Субстратын диффузийн нөлөөг сайжруулснаар ионы бөмбөгдөлт нь субстратын гадаргуугийн зохион байгуулалтын талст шинж чанарыг сайжруулж, хайлшийн фаз үүсэх нөхцлийг бүрдүүлдэг; мөн ионы бөмбөгдөлт нь өндөр энергитэй бөгөөд тодорхой хэмжээний ионы суулгац болон ионы цацрагийн холих нөлөөг бий болгодог.
2. Өндөр даралттай (1Па-аас их буюу тэнцүү) үед сайн тойрч гарах цацраг үүсгэдэг тул ион бүрхүүл нь ионжуулсан уурын ионууд эсвэл молекулууд нь субстрат руу аялахдаа хийн молекулууд хэд хэдэн мөргөлдөөнтэй тулгардаг тул хальсан хэсгүүд нь субстратын эргэн тойронд тархаж, улмаар хальсан давхаргын бүрхүүлийг сайжруулдаг; мөн ионжуулсан хальсан хэсгүүд нь сөрөг хүчдэлтэй субстратын гадаргуу дээр цахилгаан орны нөлөөн дор хуримтлагддаг бөгөөд үүнийг ууршуулах замаар хийж чадахгүй.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 1-р сарын 12