Буландырумен қаптау және шашыратумен қаптаумен салыстырғанда, иондық қаптаудың ең маңызды ерекшелігі - тұндыру кезінде энергетикалық иондар субстрат пен пленка қабатын бомбалайды. Зарядталған иондарды бомбалау бірқатар әсерлерді тудырады, негізінен келесідей.
1 Мембрана/негіз байланыс күші (адгезия) күшті, пленка қабаты шашырату әсерінен пайда болатын субстраттың иондық бомбалауына байланысты оңай түсіп кетпейді, сондықтан субстрат тазартылады, белсендіріледі және қыздырылады, бұл тек субстрат бетіндегі газдың адсорбциясын және ластанған қабатты кетіру үшін ғана емес, сонымен қатар субстрат бетіндегі оксидтерді де кетіру үшін де қолданылады. Иондық бомбалау субстраттың диффузиялық әсерін күшейту арқылы субстрат беткі қабатының ұйымдастырылуының кристалдық қасиеттерін жақсартуға ғана емес, сонымен қатар қорытпа фазаларының түзілуіне жағдай жасайды; және жоғары энергиялы иондық бомбалау сонымен қатар белгілі бір мөлшерде ион имплантациясын және иондық сәуленің араласу әсерін тудырады.
2 Жоғары қысым (1Па-дан жоғары немесе оған тең) жағдайында жақсы айналып өтетін сәулеленуді тудыратын иондық жабын иондалған бу иондары немесе молекулалары субстратқа дейінгі сапарында газ молекулалары бірқатар соқтығысуларға тап болады, сондықтан пленка бөлшектері субстраттың айналасына шашырауы мүмкін, осылайша пленка қабатының жабыны жақсарады; және иондалған пленка бөлшектері электр өрісінің әсерінен теріс кернеуі бар субстрат бетінде де жиналады. Бұл булану жабыны арқылы қол жеткізу мүмкін емес, теріс кернеуі бар субстрат бетіндегі кез келген позиция.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 12 қаңтар