बाष्पीभवन प्लेटिंग आणि स्पटरिंग प्लेटिंगच्या तुलनेत, आयन प्लेटिंगचे सर्वात महत्त्वाचे वैशिष्ट्य म्हणजे निक्षेपण होत असताना ऊर्जावान आयन सब्सट्रेट आणि फिल्मच्या थरावर आदळतात. चार्ज केलेल्या आयनांच्या या माऱ्यामुळे अनेक परिणाम घडून येतात, जे प्रामुख्याने खालीलप्रमाणे आहेत.
① पडदा / बेस यांच्यातील बंध शक्ती (आसंजन) मजबूत असल्यामुळे, स्पटरिंग प्रभावामुळे निर्माण होणाऱ्या सबस्ट्रेटवरील आयन बॉम्बार्डमेंटमुळे फिल्मचा थर सहजपणे गळून पडत नाही. यामुळे सबस्ट्रेट स्वच्छ, सक्रिय आणि गरम होतो, ज्यामुळे केवळ सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागावरील वायूचे शोषण आणि दूषित थरच नाही, तर सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागावरील ऑक्साईड्स देखील काढून टाकले जातात. आयन बॉम्बार्डमेंटमुळे होणारी उष्णता आणि दोष हे सबस्ट्रेटच्या वाढलेल्या प्रसार प्रभावामुळे निर्माण होऊ शकतात, ज्यामुळे सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागावरील थराच्या रचनेचे स्फटिकी गुणधर्म सुधारतात, तसेच मिश्रधातूंच्या टप्प्यांच्या निर्मितीसाठी परिस्थिती निर्माण होते; आणि उच्च ऊर्जेच्या आयन बॉम्बार्डमेंटमुळे, काही प्रमाणात आयन इम्प्लांटेशन आणि आयन बीम मिश्रण प्रभाव देखील निर्माण होतो.
2. आयन कोटिंगमुळे उच्च दाबाच्या (1 Pa पेक्षा जास्त किंवा समान) बाबतीत चांगले बायपासिंग रेडिएशन निर्माण होते, कारण आयनीकृत बाष्पाचे आयन किंवा रेणू सब्सट्रेटकडे प्रवास करताना वायूच्या रेणूंशी अनेक टक्करांना सामोरे जातात, त्यामुळे फिल्मचे कण सब्सट्रेटवर विखुरले जाऊ शकतात, ज्यामुळे फिल्म लेयरचे कव्हरेज सुधारते; आणि आयनीकृत फिल्मचे कण नकारात्मक व्होल्टेज असलेल्या सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील कोणत्याही ठिकाणी विद्युत क्षेत्राच्या प्रभावाखाली जमा होतात, जे बाष्पीभवन प्लेटिंगद्वारे साध्य करता येत नाही.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: १२ जानेवारी २०२४