Buxarlanma və püskürtmə ilə örtükləmə ilə müqayisədə ion örtüyünün ən vacib xüsusiyyəti, çökmə baş verərkən enerjili ionların substrat və film təbəqəsini bombardman etməsidir. Yüklü ionların bombardmanı əsasən aşağıdakı kimi bir sıra təsirlər yaradır.
① Membran/əsas bağlama qüvvəsi (yapışma) güclüdür, püskürtmə effekti nəticəsində substratın ion bombardmanı nəticəsində film təbəqəsinin qopması asan deyil, beləliklə, substrat təmizlənir, aktivləşdirilir və qızdırılır, bu da təkcə substratın səthindəki qazın adsorbsiyasını və çirklənmiş təbəqəni aradan qaldırmaqla yanaşı, substratın səthindəki oksidləri də aradan qaldırır. İon bombardmanı ilə qızdırma və qüsurlar substratın diffuziya effektinin artması ilə yarana bilər, həm substrat səth təbəqəsinin təşkilinin kristal xüsusiyyətlərini yaxşılaşdırır, həm də ərinti fazalarının əmələ gəlməsi üçün şərait yaradır; və daha yüksək enerjili ion bombardmanı, həm də müəyyən miqdarda ion implantasiyası və ion şüası qarışdırma effekti yaradır.
2. Yüksək təzyiq (1Pa-dan çox və ya bərabər) halında yaxşı bypass radiasiyası yaratdığına görə ion örtüyü, qaz molekulları bir sıra toqquşmalarla qarşılaşmazdan əvvəl substrata səyahətində ionlaşmış buxar ionları və ya molekulları ilə qarşılaşır, beləliklə, film hissəcikləri substratın ətrafına səpələnə bilər və beləliklə, film təbəqəsinin örtülməsini yaxşılaşdırır; və ionlaşmış film hissəcikləri də elektrik sahəsinin təsiri altında substratın səthində mənfi gərginlikli hər hansı bir mövqedə yerləşdiriləcək. Buxarlanma örtüyü ilə əldə edilə bilməyən mənfi gərginlikli substratın səthində istənilən mövqe.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 12 Yanvar 2024