So với mạ bay hơi và mạ phun, đặc điểm quan trọng nhất của mạ ion là các ion năng lượng cao bắn phá chất nền và lớp màng trong quá trình lắng đọng. Sự bắn phá của các ion mang điện tạo ra một loạt các hiệu ứng, chủ yếu như sau.
① Lực liên kết giữa màng và đế (độ bám dính) mạnh, lớp màng không dễ bị bong ra do sự bắn phá ion vào chất nền tạo ra bởi hiệu ứng phún xạ, do đó chất nền được làm sạch, hoạt hóa và nung nóng, không chỉ loại bỏ sự hấp phụ khí trên bề mặt chất nền và lớp bị ô nhiễm, mà còn loại bỏ oxit trên bề mặt chất nền. Sự bắn phá ion gây ra hiện tượng nung nóng và tạo ra các khuyết tật có thể làm tăng hiệu ứng khuếch tán của chất nền, vừa cải thiện các đặc tính tinh thể của lớp bề mặt chất nền, vừa tạo điều kiện cho sự hình thành các pha hợp kim; và sự bắn phá ion năng lượng cao hơn cũng tạo ra một lượng nhất định sự cấy ion và hiệu ứng trộn chùm ion.
② Lớp phủ ion, do tạo ra bức xạ xuyên suốt tốt trong trường hợp áp suất cao (lớn hơn hoặc bằng 1 Pa), các ion hoặc phân tử hơi bị ion hóa trên đường đi đến chất nền trước khi các phân tử khí gặp phải một số va chạm, do đó các hạt màng có thể được phân tán xung quanh chất nền, nhờ đó cải thiện độ phủ của lớp màng; và các hạt màng bị ion hóa cũng sẽ được lắng đọng dưới tác dụng của điện trường trên bề mặt chất nền ở bất kỳ vị trí nào trên bề mặt chất nền có điện áp âm, điều mà phương pháp mạ bay hơi không thể thực hiện được.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 12/01/2024