증발 도금 및 스퍼터링 도금과 비교했을 때, 이온 도금의 가장 중요한 특징은 증착이 진행되는 동안 고에너지 이온이 기판과 박막층을 충돌한다는 점입니다. 하전 이온의 충돌은 주로 다음과 같은 일련의 효과를 발생시킵니다.
① 막/기판 접착력이 강하여 스퍼터링 효과로 인해 발생하는 기판의 이온 충격에도 필름층이 쉽게 탈락하지 않습니다. 따라서 기판을 세척, 활성화 및 가열하면 기판 표면의 가스 흡착 및 오염층뿐만 아니라 기판 표면의 산화물도 제거할 수 있습니다. 가열 및 결함에 의한 이온 충격은 기판의 확산 효과를 향상시켜 기판 표면층의 결정성을 개선하고 합금상 형성을 위한 조건을 제공합니다. 또한 고에너지 이온 충격은 일정량의 이온 주입 및 이온 빔 혼합 효과를 발생시킵니다.
② 이온 코팅은 고압(1Pa 이상) 조건에서 우수한 바이패스 방사선을 발생시키기 때문에, 기체 분자가 기판으로 이동하는 과정에서 이온화된 증기 이온 또는 분자가 여러 번 충돌하게 되어 박막 입자가 기판 표면에 고르게 분포될 수 있습니다. 따라서 박막층의 피복률이 향상됩니다. 또한, 이온화된 박막 입자는 음전압이 인가된 기판 표면의 임의의 위치에 전기장의 작용으로 증착될 수 있는데, 이는 증발 도금으로는 불가능한 장점입니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 1월 12일