Парга әйләндерү һәм сиптерү белән каплау белән чагыштырганда, ион каплауның иң мөһим үзенчәлеге шунда ки, энергетика ионнар нигезне һәм пленка катламын бомбага тота, шул ук вакытта утыру бара. Зарядкаланган ионнар белән бомбага тоту берничә эффект тудыра, нигездә түбәндәгечә.
1 Мембрана / нигез бәйләнеш көче (адгезия) көчле, пленка катламы сиптерү эффекты нәтиҗәсендә субстратка ион бомбардированиесе аркасында җиңел төшеп калмый, шуңа күрә субстрат чистартыла, активлаштырыла һәм җылытыла, субстрат өслегендәге газның адсорбциясен һәм пычранган катламны гына түгел, ә субстрат өслегендәге оксидларны да бетерә. Ион бомбардированиесе субстратның диффузия эффектын көчәйтү аркасында килеп чыгарга мөмкин, бу субстрат өслеге катламының кристалл үзлекләрен яхшырта, шулай ук эретмә фазалары формалашуы өчен шартлар тудыра; һәм югарырак энергияле ион бомбардированиесе, шулай ук билгеле бер күләмдә ион имплантациясе һәм ион нурлары катнашмасы эффектын барлыкка китерә.
2 Ион каплавы югарырак басым (1Па дан зуррак яки аңа тигез) булганда яхшы әйләнеп үтүче нурланыш тудыру сәбәпле, газ молекулалары субстратка барганда берничә бәрелешкә очраганчы, ионлаштырылган пар ионнары яки молекулалары субстратка барып җитә, шуңа күрә пленка кисәкчәләре субстрат тирәли таралырга мөмкин, шуның белән пленка катламының каплавы яхшыра; һәм ионлаштырылган пленка кисәкчәләре шулай ук электр кыры тәэсирендә тискәре көчәнешле субстрат өслегендә урнашачак. Бу субстрат өслегендәге тискәре көчәнешле теләсә нинди позиция, моңа пар белән каплау юлы белән ирешеп булмый.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 12 гыйнвары