Ha ho bapisoa le ho polata ha mouoane le ho polata ha sputtering, tšobotsi ea bohlokoa ka ho fetisisa ea ho polata ha ion ke hore li-ion tse matla li hlasela substrate le lera la filimi ha ho ntse ho etsoa deposition. Ho polata ha li-ion tse chajileng ho hlahisa letoto la litlamorao, haholo-holo ka tsela e latelang.
① Matla a ho khomarela a lera/base (ho khomarela) a matla, lera la filimi ha le bonolo ho oa ka lebaka la ho phatloha ha ion ea substrate e hlahisoang ke phello ea ho qhalana, e le hore substrate e hloekisoe, e kenngoe tšebetsong le ho futhumatsoa, eseng feela ho tlosa ho monngoa ha khase holim'a substrate le lera le silafetseng, empa hape le ho tlosa bokaholimo ba li-oxide tsa substrate. Ho phatloha ha ion ea ho futhumatsa le liphoso ho ka bakoa ke phello e ntlafalitsoeng ea ho hasana ha substrate, ka bobeli ho ntlafatsa thepa ea kristale ea mokhatlo oa lera la bokaholimo ba substrate, empa hape ho fana ka maemo a ho thehoa ha mekhahlelo ea alloy; le ho phatloha ha ion ea matla a holimo, empa hape ho hlahisa palo e itseng ea ho kenngoa ha ion le phello ea ho kopanya mahlaseli a ion.
② Ho koaheloa ha li-ion ka lebaka la ho hlahisa mahlaseli a matle a fetang ha ho na le khatello e phahameng (e fetang kapa e lekanang le 1Pa) ke li-ion tsa mouoane tse nang le ion kapa limolek'hule leetong la tsona ho ea substrate pele limolek'hule tsa khase li kopana le likhohlano tse 'maloa, kahoo likaroloana tsa filimi li ka hasana ho potoloha substrate, ka hona ho ntlafatsa ho koaheloa ha lera la filimi; 'me likaroloana tsa filimi tse nang le ion le tsona li tla beoa tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase holim'a substrate ka motlakase o fosahetseng. Boemo bofe kapa bofe holim'a substrate ka motlakase o fosahetseng, bo ke keng ba finyelloa ka ho polata ha mouoane.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Pherekhong-12-2024