আয়ন আবরণের বৈশিষ্ট্য ও প্রয়োগ-অধ্যায় ১

ইভাপোরেশন প্লেটিং এবং স্পাটারিং প্লেটিং-এর তুলনায় আয়ন প্লেটিং-এর সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য হলো, স্তর জমার সময় শক্তিশালী আয়নগুলো সাবস্ট্রেট এবং ফিল্ম স্তরকে আঘাত করে। চার্জিত আয়নের এই আঘাত প্রধানত নিম্নলিখিত ধারাবাহিক প্রভাব সৃষ্টি করে।

① মেমব্রেন ও বেসের মধ্যে বন্ধন শক্তি (আঠালোভাব) শক্তিশালী হওয়ায়, স্পাটারিং এফেক্টের ফলে সাবস্ট্রেটের উপর আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট তৈরি হয় এবং ফিল্মের স্তর সহজে খসে পড়ে না। এর ফলে সাবস্ট্রেটটি পরিষ্কার, সক্রিয় এবং উত্তপ্ত হয়, যা কেবল সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে গ্যাসের শোষণ এবং দূষিত স্তরই দূর করে না, বরং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের অক্সাইডও অপসারণ করে। উত্তাপের ফলে সৃষ্ট আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট এবং ত্রুটিগুলো সাবস্ট্রেটের বর্ধিত ডিফিউশন এফেক্টের মাধ্যমে দূর হতে পারে, যা একদিকে যেমন সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠস্তরের গঠনগত ক্রিস্টালাইন বৈশিষ্ট্য উন্নত করে, তেমনি অন্যদিকে অ্যালয় ফেজ গঠনের জন্য প্রয়োজনীয় পরিস্থিতিও তৈরি করে। অধিকন্তু, উচ্চ শক্তির আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট একটি নির্দিষ্ট পরিমাণ আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং আয়ন বিম মিক্সিং এফেক্টও তৈরি করে।

২। আয়ন কোটিং-এর ক্ষেত্রে, উচ্চ চাপে (১ Pa বা তার বেশি) ভালো বাইপাসিং রেডিয়েশন উৎপন্ন হওয়ার কারণে, আয়নিত বাষ্পীয় আয়ন বা অণুগুলো সাবস্ট্রেটের দিকে যাওয়ার পথে গ্যাসীয় অণুগুলোর আগে একাধিক সংঘর্ষের সম্মুখীন হয়, ফলে ফিল্ম কণাগুলো সাবস্ট্রেটের চারপাশে ছড়িয়ে পড়তে পারে, যা ফিল্ম স্তরের কভারেজ উন্নত করে; এবং এই আয়নিত ফিল্ম কণাগুলো বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের যেকোনো ঋণাত্মক ভোল্টেজযুক্ত স্থানে জমা হয়, যা ইভাপোরেশন প্লেটিং-এর মাধ্যমে অর্জন করা সম্ভব নয়।

–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া