የአዮን ሽፋን ባህሪያት እና አተገባበር-ምዕራፍ 1

ከትነት ፕላቲንግ እና ስፐተርቲንግ ፕላቲንግ ጋር ሲነጻጸር፣ የአዮን ፕላቲንግ በጣም አስፈላጊው ባህሪ ኃያላን አየኖች በንጥረ ነገሩ እና በፊልሙ ንብርብር ላይ በሚከማቹበት ጊዜ መሞከራቸው ነው። የተከሰሱ አየኖች ቦምብ ድብደባ ተከታታይ ውጤቶችን ያስገኛል፣ በዋናነት እንደሚከተለው ነው።

① የሜምብራን / የመሠረት ትስስር ኃይል (ማጣበቂያ) ጠንካራ በመሆኑ፣ የፊልም ንብርብር በሚተነፍሰው የንጣፍ አዮን ቦምብ ድብደባ ምክንያት በቀላሉ መውደቅ ቀላል አይደለም፣ ስለዚህ ንጣፉ እንዲጸዳ፣ እንዲነቃ እና እንዲሞቅ፣ በንጣፉ ወለል እና በተበከለው ንብርብር ላይ ያለውን የጋዝ መምጠጥ ለማስወገድ ብቻ ሳይሆን የንጣፉ ኦክሳይድ ገጽን ለማስወገድ ጭምር። የማሞቂያ እና ጉድለቶች የአዮን ቦምብ ቦምብ በንጣፉ የተሻሻለ የስርጭት ውጤት ምክንያት ሊከሰት ይችላል፣ ይህም የንጣፉ ወለል ንብርብር አደረጃጀት ክሪስታላይን ባህሪያትን ለማሻሻል ነው፣ ነገር ግን የአሉሚኒየም ደረጃዎችን ለመፍጠር ሁኔታዎችን ይሰጣል፤ እና ከፍተኛ የኃይል አዮን ቦምብ ቦምብ፣ ነገር ግን የተወሰነ መጠን ያለው የአዮን ተከላ እና የአዮን ጨረር ማደባለቅ ውጤት ያስገኛል።

② ከፍተኛ ግፊት (ከ1ፓ በላይ ወይም እኩል) ሲኖር ጥሩ የማለፊያ ጨረር በማምረት ምክንያት የሚመጣው የአዮን ሽፋን የጋዝ ሞለኪውሎች በርካታ ግጭቶች ከመጋፈጣቸው በፊት ወደ ንጣፉ በሚያደርጉት ጉዞ ላይ ionized vapor ions ወይም ሞለኪውሎች ናቸው፣ ስለዚህ የፊልም ቅንጣቶች በንጣፉ ዙሪያ ሊበተኑ ይችላሉ፣ በዚህም የፊልሙን ሽፋን ያሻሽላል፤ እና የአዮን ፊልም ቅንጣቶች በኤሌክትሪክ መስክ ተጽዕኖ ስር በአሉታዊ ቮልቴጅ በንጣፉ ወለል ላይ ይቀመጣሉ፣ ይህም በአሉታዊ ቮልቴጅ ሊደረስበት የማይችል አሉታዊ ቮልቴጅ ያለው የንጣፉ ወለል ላይ ያለ ማንኛውም ቦታ፣ ይህም በትነት ሽፋን ሊገኝ አይችልም።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ