ఎవాపరేషన్ ప్లేటింగ్ మరియు స్పుటరింగ్ ప్లేటింగ్తో పోలిస్తే, అయాన్ ప్లేటింగ్ యొక్క అత్యంత ముఖ్యమైన లక్షణం ఏమిటంటే, డిపాజిషన్ జరుగుతున్నప్పుడు శక్తివంతమైన అయాన్లు సబ్స్ట్రేట్ మరియు ఫిల్మ్ పొరపై దాడి చేస్తాయి. చార్జ్ చేయబడిన అయాన్ల ఈ దాడి ప్రధానంగా ఈ క్రింది విధంగా అనేక ప్రభావాలను కలుగజేస్తుంది.
① పొర / ఆధారం మధ్య బంధన శక్తి (అంటుకునే గుణం) బలంగా ఉండటం వల్ల, స్పుటరింగ్ ప్రభావం వలన సబ్స్ట్రేట్పై జరిగే అయాన్ తాకిడి కారణంగా ఫిల్మ్ పొర సులభంగా ఊడిపోదు. దీనివల్ల సబ్స్ట్రేట్ శుభ్రపరచబడి, ఉత్తేజితం చేయబడి, వేడి చేయబడుతుంది. ఇది సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై పేరుకుపోయిన వాయువుల శోషణను మరియు కలుషిత పొరను తొలగించడమే కాకుండా, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఉన్న ఆక్సైడ్లను కూడా తొలగిస్తుంది. అయాన్ తాకిడి వలన కలిగే వేడి మరియు లోపాలు సబ్స్ట్రేట్ యొక్క మెరుగైన వ్యాపన ప్రభావం ద్వారా ఏర్పడతాయి. ఇది సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితల పొర యొక్క స్ఫటికాకార లక్షణాలను మెరుగుపరచడమే కాకుండా, మిశ్రమలోహ దశల ఏర్పాటుకు పరిస్థితులను కూడా కల్పిస్తుంది; మరియు అధిక శక్తి గల అయాన్ తాకిడి వలన, కొంత మొత్తంలో అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు అయాన్ బీమ్ మిక్సింగ్ ప్రభావం కూడా ఏర్పడుతుంది.
② అయాన్ కోటింగ్లో, అధిక పీడనం (1Pa లేదా అంతకంటే ఎక్కువ) ఉన్నప్పుడు మంచి బైపాసింగ్ రేడియేషన్ను ఉత్పత్తి చేయడం వల్ల, ఆవిరి అయాన్లు లేదా అణువులు సబ్స్ట్రేట్కు ప్రయాణించే మార్గంలో వాయు అణువుల కంటే ముందుగా అనేక ఘర్షణలను ఎదుర్కొంటాయి. అందువల్ల, ఫిల్మ్ కణాలు సబ్స్ట్రేట్ చుట్టూ చెల్లాచెదురుగా వ్యాపించగలవు, తద్వారా ఫిల్మ్ పొర యొక్క కవరేజ్ మెరుగుపడుతుంది; మరియు అయాన్లుగా మారిన ఫిల్మ్ కణాలు, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఉన్న నెగటివ్ వోల్టేజ్ యొక్క విద్యుత్ క్షేత్రం చర్య కింద, దానిపై ఉన్న ఏ ప్రదేశంలోనైనా నిక్షిప్తం చేయబడతాయి, ఇది ఎవాపరేషన్ ప్లేటింగ్ ద్వారా సాధించలేనిది.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జనవరి-12-2024