Ní ìfiwéra pẹ̀lú ìfọ́ èéfín àti ìfọ́ èéfín, ohun pàtàkì jùlọ nínú ìfọ́ ion ni pé àwọn ions alágbára ń bomi bo substrate àti fíìmù náà nígbà tí ìfọ́ ion bá ń ṣẹlẹ̀. Ìfọ́ ion tí a ti gba agbára ń mú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ipa jáde, ní pàtàkì gẹ́gẹ́ bí a ṣe tẹ̀lé e yìí.
① Agbára ìsopọ̀mọ́ra ìpìlẹ̀ (ìfàmọ́ra) lágbára, kò rọrùn láti wó lulẹ̀ nítorí ìbọn ion ti substrate tí ipa sputtering ti mú jáde, kí substrate náà lè mọ́, kí ó sì gbóná, kì í ṣe láti mú ìfàmọ́ra gaasi kúrò lórí ojú substrate àti ìpele tí ó ti bàjẹ́ nìkan, ṣùgbọ́n láti mú ojú substrate oxides kúrò. Ìbọn ion ti gbígbóná àti àbùkù lè wáyé nípasẹ̀ ipa ìtànkálẹ̀ tí ó pọ̀ sí i ti substrate, láti mú kí àwọn ohun-ìní kristali ti ìṣètò ojú substrate sunwọ̀n síi, ṣùgbọ́n ó tún pèsè àwọn ipò fún ìṣẹ̀dá àwọn ipele alloy; àti ìbọn ion agbára gíga, ṣùgbọ́n ó tún ń mú iye kan ti ìfilọ́lẹ̀ ion àti ipa ìdàpọ̀ ion beam kan jáde.
② Àwọ̀ ion tí ó ń jáde láti inú ìtànṣán tí ó dára tí ó bá wà ní ipò ìfúnpá gíga (tí ó tóbi ju tàbí dọ́gba sí 1Pa) jẹ́ àwọn ion vapor tàbí molecule tí a ti ionized nínú ìrìn àjò rẹ̀ sí substrate kí àwọn molecule gaasi tó pàdé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìkọlù, nítorí náà àwọn patiku film náà lè fọ́nká káàkiri substrate náà, èyí tí yóò mú kí ibora film náà sunwọ̀n síi; àti àwọn patiku ionized film náà yóò wà lábẹ́ iṣẹ́ pápá iná mànàmáná lórí ojú substrate náà pẹ̀lú foliteji odi. Ipo èyíkéyìí lórí ojú substrate náà pẹ̀lú foliteji odi, èyí tí a kò le ṣe nípasẹ̀ ìtújáde evaporation.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-12-2024