Buglanmak bilen örtülen örtük we tüýdük örtük bilen deňeşdirilende, ion örtüginiň iň möhüm aýratynlygy, kuwwatly ionlaryň çökdürilende substraty we film gatlagyny bombalamagydyr. Zarýadly ionlaryň bombalanmagy, esasan, aşakdaky ýaly birnäçe effekt döredýär.
① Membrana / esasy baglanyşyk güýji (ýelmeşme) güýçli, tüýdük effekti bilen emele gelen substratyň ion bombasy sebäpli düşmek aňsat däl, şonuň üçin substrat arassalanýar, işjeňleşdirilýär we gyzdyrylýar, diňe substratyň üstündäki gazyň adsorbsiýasyny aýyrmak üçin däl, eýsem substrat oksidleriniň üstüni hem aýyrmak bolýar. Heatingyladyşyň we kemçilikleriň Ion bombalanmagy, substratyň ýerüsti gatlak guramasynyň kristal häsiýetlerini gowulandyrmak üçin substratyň güýçlendirilen diffuziýa täsiri sebäpli bolup biler, şeýle hem garyndy fazalarynyň emele gelmegi üçin şertler döredýär; we has ýokary energiýa ion bombalanmagy, ýöne belli bir mukdarda ion implantasiýasy we ion şöhlelerini garyşdyrmak effekti döredýär.
Pressure Has ýokary basyş (1Pa-dan uly ýa-da deňdir) ýagdaýynda oňat aýlanyp geçýän radiasiýa öndürmek sebäpli ion örtügi, gaz molekulalary birnäçe çaknyşyklara duçar bolmazdan ozal substrata syýahatynda ionlaşdyrylan bug ionlary ýa-da molekulalarydyr, şonuň üçin film bölejikleri substratyň töweregine ýaýrap biler, şeýlelik bilen film gatlagynyň örtügini gowulandyrar; we ionlaşdyrylan film bölejikleri, negatiw naprýa witheniýe bilen substratyň üstündäki elektrik meýdanynyň täsiri astynda ýerleşdiriler, bugarmak örtügi bilen gazanyp bolmaýan negatiw naprýa .eniýe bilen substratyň üstündäki islendik pozisiýa.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: -20anwar-12-2024