1 Ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmek tehnologiýasy plýonka bilen substratyň arasyndaky güýçli ýelmeşme bilen häsiýetlendirilýär, plýonka gatlagy örän berk. Tejribeler şuny görkezdi: ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmekde ýelmeşme termal bug çökündisiniň ýelmeşmesine garanyňda birnäçe esseden ýüzlerçe esse çenli ýokarlanýar, sebäbi esasan, ion bombardmanynyň ýüzündäki arassalaýyş täsiri bilen baglanyşyklydyr, şonuň üçin membrananyň esasy serhedi gradient serhet gurluşyny ýa-da gibrid geçiş gatlagyny emele getirýär, şeýle hem membrananyň stresini peseldýär.
2 Ion şöhlesi bilen çökdürmek plýonkanyň mehaniki häsiýetlerini gowulandyryp, ýadawlyk ömrüni uzaldyp biler, oksidleri, karbidleri, kub BN, TiB we almaz ýaly örtükleri taýýarlamak üçin örän amatlydyr. Mysal üçin, 1Crl8Ni9Ti gyzgynlyga çydamly polatda ion şöhlesi bilen çökdürmek tehnologiýasyny ulanmak arkaly 200nm SiN ösdürip ýetişdirmek üçin inçe plýonka diňe bir materialyň ýüzünde ýadawlyk çatlaklarynyň döremeginiň öňüni alyp bilmez, eýsem ýadawlyk çatlaklarynyň ýaýrama tizligini ep-esli azaldyp, ömrüni uzaltmakda gowy rol oýnaýar.
③ Ion şöhlesi bilen çökdürilme plyonkanyň stres tebigatyny we onuň kristal gurluşyny üýtgedip biler. Mysal üçin, substrat ýüzüne 11.5 keV Xe + ýa-da Ar + bombardman bilen Cr plyonkasyny taýýarlamak, substratyň temperaturasyny, bombardman ion energiýasyny, ion we atom gelme gatnaşygyny we beýleki parametrleri sazlamagyň stresden dartgynlykdan basyş stresine çenli üýtgedýändigini, plyonkanyň kristal gurluşynyň hem üýtgeşmelerini döredýändigini anyklady. Ionlaryň atomlara belli bir gatnaşygynda, ion şöhlesi bilen çökdürilme termal bug çökdürilmesi bilen çökdürilen membran gatlagyna garanyňda has gowy saýlama ugryna eýedir.
④ Ion şöhlesi arkaly çökündi membrananyň korroziýa we oksidlenme garşylygyny ýokarlandyryp biler. Membrana gatlagynyň ion şöhlesi arkaly çökündisi dykyz bolansoň, membrana esasynyň serhet gurluşy gowulaşýar ýa-da bölejikleriň arasyndaky däne serhediniň ýitip gitmegi sebäpli amorf ýagdaý emele gelýär, bu bolsa materialyň korroziýa we oksidlenme garşylygynyň ýokarlanmagyna ýardam edýär.
Materialyň korroziýa garşylygyny güýçlendiriň we ýokary temperaturanyň oksidleşdiriji täsirine garşy duruň.
(5) Ion şöhlesi bilen çökdürmek plýonkanyň elektromagnit häsiýetlerini üýtgedip we optiki inçe plýonkalaryň işini gowulandyryp biler. (6) Ion bilen çökdürmek pes temperaturada dürli inçe plýonkalaryň ösmegine mümkinçilik berýär we ýokary temperaturada işlenilmegiň materiallara ýa-da takyk böleklere ýetirjek ýaramaz täsirleriniň öňüni alýar, sebäbi atom çökdürmesi we ion implantasiýasyna degişli parametrler takyk we garaşsyz sazlanyp bilner we birnäçe mikrometr örtükler pes bombardman energiýalarynda yzygiderli döredilip bilner.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 7-nji marty