అయాన్ బీమ్ డిపోజిషన్ టెక్నాలజీ

① అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్ టెక్నాలజీ యొక్క ముఖ్య లక్షణం ఏమిటంటే, ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన సంసంజనం ఉంటుంది, దీనివల్ల ఫిల్మ్ పొర చాలా దృఢంగా ఉంటుంది. ప్రయోగాలు ఏమి చూపించాయంటే: థర్మల్ వేపర్ డిపోజిషన్‌తో పోలిస్తే అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్‌లో సంసంజనం అనేక రెట్ల నుండి వందల రెట్ల వరకు పెరుగుతుంది, దీనికి ప్రధాన కారణం ఉపరితలంపై అయాన్ల తాకిడి వల్ల కలిగే శుభ్రపరిచే ప్రభావం. దీనివల్ల మెంబ్రేన్ బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ వద్ద ఒక గ్రేడియంట్ ఇంటర్‌ఫేషియల్ నిర్మాణం లేదా హైబ్రిడ్ ట్రాన్సిషన్ లేయర్ ఏర్పడుతుంది, అలాగే మెంబ్రేన్‌పై ఒత్తిడి కూడా తగ్గుతుంది.

② అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలను మెరుగుపరుస్తుంది, ఫెటీగ్ లైఫ్‌ను పొడిగిస్తుంది, ఆక్సైడ్‌లు, కార్బైడ్‌లు, క్యూబిక్ BN, TiB మరియు డైమండ్ లాంటి కోటింగ్‌ల తయారీకి చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, 1Crl8Ni9Ti ఉష్ణ-నిరోధక ఉక్కుపై అయాన్ బీమ్-సహాయక డిపోజిషన్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించి 200nm SiN పలుచని ఫిల్మ్‌ను పెంచడం వల్ల, ఇది పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఫెటీగ్ పగుళ్లు ఏర్పడటాన్ని నిరోధించడమే కాకుండా, ఫెటీగ్ పగుళ్ల వ్యాప్తి రేటును గణనీయంగా తగ్గించి, దాని జీవితకాలాన్ని పొడిగించడంలో మంచి పాత్ర పోషిస్తుంది.

③ అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణం ఫిల్మ్ యొక్క ఒత్తిడి స్వభావాన్ని మార్చగలదు మరియు దాని స్ఫటికాకార నిర్మాణంలో మార్పులు వస్తాయి. ఉదాహరణకు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై 11.5keV Xe + లేదా Ar + బాంబార్డ్‌మెంట్‌తో Cr ఫిల్మ్‌ను తయారుచేసేటప్పుడు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత, బాంబార్డ్‌మెంట్ అయాన్ శక్తి, అయాన్ మరియు అణువుల రాక నిష్పత్తి మరియు ఇతర పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా, ఒత్తిడిని తన్యత నుండి సంపీడన ఒత్తిడికి మార్చవచ్చని, అలాగే ఫిల్మ్ యొక్క స్ఫటికాకార నిర్మాణంలో కూడా మార్పులు వస్తాయని కనుగొనబడింది. అయాన్లు మరియు అణువుల యొక్క ఒక నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో, థర్మల్ వేపర్ డిపోజిషన్ ద్వారా నిక్షేపించబడిన పొర కంటే అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణం మెరుగైన ఎంపిక దిశానిర్దేశాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

④ అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ పొర యొక్క తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను మెరుగుపరుస్తుంది. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ ద్వారా పొర పొర దట్టంగా ఏర్పడటం వలన, కణాల మధ్య గ్రెయిన్ బౌండరీ అదృశ్యం కావడం వల్ల పొర ఆధార ఇంటర్‌ఫేస్ నిర్మాణం మెరుగుపడుతుంది లేదా అమార్ఫస్ స్థితి ఏర్పడుతుంది, ఇది పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను మెరుగుపరచడానికి దోహదపడుతుంది.

పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకతను పెంచి, అధిక ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఆక్సీకరణ ప్రభావాన్ని నిరోధించండి.

(5) అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ ఫిల్మ్ యొక్క విద్యుదయస్కాంత లక్షణాలను మార్చగలదు మరియు ఆప్టికల్ సన్నని ఫిల్మ్‌ల పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది. (6) అయాన్-సహాయక నిక్షేపణ తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద వివిధ సన్నని ఫిల్మ్‌ల పెరుగుదలను అనుమతిస్తుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద చికిత్స వలన పదార్థాలు లేదా ఖచ్చితమైన భాగాలపై కలిగే ప్రతికూల ప్రభావాలను నివారిస్తుంది, ఎందుకంటే అణు నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్‌కు సంబంధించిన పారామితులను ఖచ్చితంగా మరియు స్వతంత్రంగా సర్దుబాటు చేయవచ్చు మరియు తక్కువ బాంబార్డ్‌మెంట్ శక్తుల వద్ద స్థిరమైన కూర్పుతో కొన్ని మైక్రోమీటర్ల పూతలను నిరంతరం ఉత్పత్తి చేయవచ్చు.