① Theknoloji ea ho boloka mahlasedi a thuso ea Ion e khetholloa ka ho khomarela ho matla pakeng tsa filimi le substrate, lera la filimi le matla haholo. Liteko li bontšitse hore: ho khomarela ha mahlasedi a thuso ea ion ho feta ho khomarela ha mouoane oa mocheso ho eketsehile ka makhetlo a 'maloa ho isa makhetlo a makholo, lebaka le bakoa haholo ke ho phatloha ha ion holim'a phello ea ho hloekisa, e le hore sebopeho sa motheo sa lera se thehe sebopeho sa gradient interfacial, kapa lera la phetoho ea lebasetere, hammoho le ho fokotsa khatello ea lera.
② Ho kenngoa ha mahlasedi a ion ho ka ntlafatsa thepa ea mechini ea filimi, ho eketsa bophelo ba mokhathala, ho loketse haholo bakeng sa ho lokisa li-oxide, carbides, cubic BN, TiB: le lipente tse kang daemane. Mohlala, tšepe e sa keneng mochesong ea 1Crl8Ni9Ti e sebelisa theknoloji ea ho kenngoa ha mahlasedi a ion ho holisa 200nm SiN, filimi e tšesaane, eseng feela e ka thibelang ho hlaha ha mahlasedi a mokhathala holim'a thepa, empa hape e ka fokotsa haholo sekhahla sa ho hasana ha mahlasedi a mokhathala, ho eketsa bophelo ba eona e na le karolo e ntle.
③ Ho beoa ha ion beam ho ka fetola mofuta oa khatello ea filimi le liphetoho tsa sebopeho sa eona sa kristale. Mohlala, ho lokisoa ha filimi ea Cr e nang le 11.5keV Xe + kapa Ar + ho beoa ha bokaholimo ba substrate, ho fumanoe hore ho lokisoa ha mocheso oa substrate, matla a ion a bombardment, karolelano ea ho fihla ha ion le athomo le liparamente tse ling, ho ka etsa hore khatello e be ho tloha khatellong ea khatello ea khatello ho ea khatellong ea khatello, sebopeho sa kristale sa filimi le sona se tla hlahisa liphetoho. Tlas'a karolelano e itseng ea li-ion ho liathomo, ho beoa ha ion beam ho na le tataiso e ntle ea khetho ho feta lera la membrane le beiloeng ke ho beoa ha mouoane oa mocheso.
④ Ho beoa ha mahlasedi a ion ho ka ntlafatsa khanyetso ea mahlasedi le khanyetso ea oxidation ea lera. Kaha ho beoa ha mahlasedi a ion ho beoa ha lera la lera ho teteaneng, ntlafatso ea sebopeho sa sebopeho sa lera kapa ho thehoa ha boemo bo sa fetoheng bo bakoang ke ho nyamela ha moeli oa lijo-thollo pakeng tsa likaroloana, e leng se thusang ho ntlafatsa khanyetso ea mahlasedi le khanyetso ea oxidation ea thepa.
Ntlafatsa khanyetso ea mafome ea thepa 'me u hanele phello ea oxidizing ea mocheso o phahameng.
(5) Ho beoa ha ion beam ho ka fetola thepa ea motlakase ea filimi le ho ntlafatsa ts'ebetso ea lifilimi tse tšesaane tsa optical. (6) Ho beoa ha ion ho lumella kholo ea lifilimi tse tšesaane tse fapaneng mochesong o tlase 'me ho qoba litlamorao tse mpe thepa kapa likarolo tse nepahetseng tse ka bakoang ke kalafo mochesong o phahameng, kaha liparamente tse amanang le ho beoa ha athomo le ho kenngoa ha ion li ka fetoloa ka nepo le ka boikemelo, 'me ho koaheloa ha li-micrometer tse' maloa tse nang le sebopeho se tsitsitseng ho ka hlahisoa khafetsa ka matla a tlase a ho phatloha.
Nako ea poso: Hlakubele-07-2024