அயன் கற்றை படிவு தொழில்நுட்பம்

① அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு தொழில்நுட்பமானது, படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே வலுவான ஒட்டுதலைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் படல அடுக்கு மிகவும் வலிமையானது. சோதனைகள் காட்டியுள்ளபடி: வெப்ப ஆவிப் படிவின் ஒட்டுதலை விட, அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவின் ஒட்டுதல் பல மடங்கு முதல் நூற்றுக்கணக்கான மடங்கு வரை அதிகரித்துள்ளது. இதற்குக் முக்கிய காரணம், மேற்பரப்பின் மீது அயனிகள் மோதுவதால் ஏற்படும் தூய்மைப்படுத்தும் விளைவாகும். இதன் மூலம், சவ்வு-அடி மூலக்கூறு இடைமுகத்தில் ஒரு சாய்வு இடைமுக அமைப்பு அல்லது கலப்பின இடைநிலை அடுக்கு உருவாகிறது, அத்துடன் சவ்வின் மீதான அழுத்தமும் குறைகிறது.

② அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறை, படலத்தின் இயந்திரவியல் பண்புகளை மேம்படுத்தி, அதன் சோர்வு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. இது ஆக்சைடுகள், கார்பைடுகள், கனசதுர BN, TiB மற்றும் வைரம் போன்ற பூச்சுகளைத் தயாரிக்க மிகவும் ஏற்றது. உதாரணமாக, 1Crl8Ni9Ti வெப்ப-எதிர்ப்பு எஃகின் மீது அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி 200 நானோமீட்டர் SiN மென்படலத்தை வளர்க்கும்போது, ​​அது பொருளின் மேற்பரப்பில் சோர்வு விரிசல்கள் தோன்றுவதைத் தடுப்பது மட்டுமல்லாமல், சோர்வு விரிசல் பரவல் வீதத்தையும் கணிசமாகக் குறைத்து, அதன் ஆயுளை நீட்டிப்பதில் ஒரு நல்ல பங்கை வகிக்கிறது.

③ அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையானது, படலத்தின் இழுவிசைத் தன்மையையும் அதன் படிக அமைப்பையும் மாற்றக்கூடும். எடுத்துக்காட்டாக, அடி மூலக்கூறு பரப்பின் மீது 11.5keV Xe+ அல்லது Ar+ அயனிகளைக் கொண்டு குண்டுவீச்சு செய்து Cr படலத்தைத் தயாரிக்கும்போது, ​​அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை, குண்டுவீச்சு அயனி ஆற்றல், அயனி மற்றும் அணுக்களின் வருகை விகிதம் மற்றும் பிற அளவுருக்களைச் சரிசெய்வதன் மூலம், இழுவிசையை அமுக்கவிசையாக மாற்ற முடியும் என்றும், படலத்தின் படிக அமைப்பிலும் மாற்றங்கள் ஏற்படும் என்றும் கண்டறியப்பட்டது. அயனிகளுக்கும் அணுக்களுக்கும் இடையிலான ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தின் கீழ், வெப்ப ஆவிப் படிவு முறையால் படியவைக்கப்பட்ட மென்படல அடுக்கை விட, அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையானது சிறந்த தேர்ந்தெடுத்த திசைப்படுத்தலைக் கொண்டுள்ளது.

④ அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு, சவ்வின் அரிப்புத் தடுப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத் தடுப்புத் திறனை மேம்படுத்தும். அயனி கற்றை உதவியுடனான சவ்வு அடுக்கின் படிவு அடர்த்தியாக இருப்பதால், துகள்களுக்கு இடையேயான தானிய எல்லை மறைந்து, சவ்வின் அடித்தள இடைமுகக் கட்டமைப்பு மேம்படுகிறது அல்லது உருவமற்ற நிலை உருவாகிறது. இது பொருளின் அரிப்புத் தடுப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத் தடுப்புத் திறனை மேம்படுத்துவதற்கு உகந்ததாக அமைகிறது.

பொருளின் அரிப்புத் தடுப்புத் திறனை மேம்படுத்தி, உயர் வெப்பநிலையின் ஆக்ஸிஜனேற்ற விளைவை எதிர்க்கிறது.

(5) அயனி கற்றை உதவிய படிவு, படலத்தின் மின்காந்த பண்புகளை மாற்றி, ஒளியியல் மென்படலங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும். (6) அயனி உதவிய படிவு, குறைந்த வெப்பநிலையில் பல்வேறு மென்படலங்களின் வளர்ச்சியை அனுமதிக்கிறது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் செய்யப்படும் சிகிச்சையால் பொருட்கள் அல்லது துல்லியமான பாகங்களில் ஏற்படக்கூடிய பாதகமான விளைவுகளைத் தவிர்க்கிறது, ஏனெனில் அணுப் படிவு மற்றும் அயனி உட்பதிப்பு தொடர்பான அளவுருக்களை துல்லியமாகவும் சுயாதீனமாகவும் சரிசெய்ய முடியும், மேலும் குறைந்த குண்டுவீச்சு ஆற்றல்களில் சீரான கலவையுடன் சில மைக்ரோமீட்டர் தடிமன் கொண்ட பூச்சுகளைத் தொடர்ச்சியாக உருவாக்க முடியும்.