① Công nghệ lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có đặc điểm là độ bám dính mạnh giữa màng và chất nền, lớp màng rất bền. Các thí nghiệm đã chỉ ra rằng: độ bám dính của phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion cao hơn nhiều lần, thậm chí hàng trăm lần so với phương pháp lắng đọng hơi nhiệt, nguyên nhân chủ yếu là do sự bắn phá ion trên bề mặt có tác dụng làm sạch, giúp tạo thành cấu trúc giao diện gradient hoặc lớp chuyển tiếp lai giữa lớp nền và màng, đồng thời giảm ứng suất của màng.
② Phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có thể cải thiện các tính chất cơ học của màng, kéo dài tuổi thọ mỏi, rất phù hợp cho việc chế tạo các lớp phủ oxit, cacbua, BN lập phương, TiB: và các lớp phủ giống kim cương. Ví dụ, trong thép chịu nhiệt 1Crl8Ni9Ti, việc sử dụng công nghệ lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion để tạo ra màng mỏng SiN dày 200nm không chỉ có thể ức chế sự xuất hiện của các vết nứt mỏi trên bề mặt vật liệu mà còn có thể làm giảm đáng kể tốc độ lan truyền vết nứt mỏi, giúp kéo dài tuổi thọ của vật liệu.
③ Phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có thể thay đổi bản chất ứng suất của màng và cấu trúc tinh thể của nó. Ví dụ, trong quá trình chế tạo màng Cr bằng cách bắn phá bề mặt chất nền bằng ion Xe+ hoặc Ar+ có năng lượng 11,5keV, người ta nhận thấy rằng việc điều chỉnh nhiệt độ chất nền, năng lượng ion bắn phá, tỷ lệ ion và nguyên tử đến và các thông số khác có thể làm cho ứng suất chuyển từ ứng suất kéo sang ứng suất nén, cấu trúc tinh thể của màng cũng sẽ thay đổi. Dưới một tỷ lệ ion/nguyên tử nhất định, phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có khả năng định hướng chọn lọc tốt hơn so với lớp màng được lắng đọng bằng phương pháp lắng đọng hơi nhiệt.
④ Phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có thể tăng cường khả năng chống ăn mòn và chống oxy hóa của màng. Do lớp màng được lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có mật độ cao, cấu trúc giao diện nền của màng được cải thiện hoặc hình thành trạng thái vô định hình do sự biến mất của ranh giới hạt giữa các hạt, điều này có lợi cho việc tăng cường khả năng chống ăn mòn và chống oxy hóa của vật liệu.
Tăng cường khả năng chống ăn mòn của vật liệu và chống lại tác động oxy hóa ở nhiệt độ cao.
(5) Quá trình lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion có thể thay đổi các đặc tính điện từ của màng và cải thiện hiệu suất của màng mỏng quang học. (6) Quá trình lắng đọng hỗ trợ bằng ion cho phép phát triển nhiều loại màng mỏng ở nhiệt độ thấp và tránh được các tác động bất lợi lên vật liệu hoặc các bộ phận chính xác do xử lý ở nhiệt độ cao gây ra, vì các thông số liên quan đến lắng đọng nguyên tử và cấy ion có thể được điều chỉnh chính xác và độc lập, và các lớp phủ dày vài micromet với thành phần nhất quán có thể được tạo ra liên tục ở năng lượng bắn phá thấp.
Thời gian đăng bài: 07/03/2024