ເຕັກໂນໂລຊີການຕົກຕະກອນລຳແສງໄອອອນ

① ເຕັກໂນໂລຊີການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນມີລັກສະນະໂດຍການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງລະຫວ່າງຟິມແລະຊັ້ນຮອງພື້ນ, ຊັ້ນຟິມມີຄວາມແຂງແຮງຫຼາຍ. ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ: ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນມີການຍຶດຕິດຫຼາຍກ່ວາການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນຄວາມຮ້ອນເພີ່ມຂຶ້ນຫຼາຍເທົ່າເປັນຫຼາຍຮ້ອຍເທົ່າ, ສາເຫດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນການລະເບີດຂອງໄອອອນໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຜົນກະທົບການທຳຄວາມສະອາດ, ດັ່ງນັ້ນພື້ນຜິວຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລຈຶ່ງສ້າງໂຄງສ້າງຊັ້ນຮອງພື້ນແບບ gradient, ຫຼືຊັ້ນປ່ຽນຮູບແບບປະສົມ, ພ້ອມທັງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລ.

② ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍປັບປຸງຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກຂອງຟິມ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຄວາມເມື່ອຍລ້າ, ເໝາະສົມຫຼາຍສຳລັບການກະກຽມອົກໄຊ, ຄາໄບ, BN ກ້ອນ, TiB: ແລະ ການເຄືອບຄ້າຍຄືເພັດ. ຕົວຢ່າງ, ໃນເຫຼັກທົນຄວາມຮ້ອນ 1Crl8Ni9Ti ໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍເພີ່ມ SiN 200 nm, ຟິມບາງ, ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດຍັບຍັ້ງການເກີດຂຶ້ນຂອງຮອຍແຕກຄວາມເມື່ອຍລ້າເທິງໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການແຜ່ກະຈາຍຂອງຮອຍແຕກຄວາມເມື່ອຍລ້າໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ການຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານມີບົດບາດດີ.

③ ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍສາມາດປ່ຽນແປງລັກສະນະຄວາມກົດດັນຂອງຟິມ ແລະ ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງມັນປ່ຽນແປງ. ຕົວຢ່າງ, ການກະກຽມຟິມ Cr ດ້ວຍການຖິ້ມລະເບີດ Xe+ ຫຼື Ar+ 11.5keV ໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ພົບວ່າການປັບອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ພະລັງງານໄອອອນທີ່ຖິ້ມລະເບີດ, ອັດຕາສ່ວນການມາຮອດຂອງໄອອອນ ແລະ ອະຕອມ ແລະ ພາລາມິເຕີອື່ນໆ, ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມກົດດັນຈາກຄວາມກົດດັນຈາກແຮງດຶງໄປຫາຄວາມກົດດັນຈາກການບີບອັດ, ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງຟິມຍັງຈະສ້າງການປ່ຽນແປງ. ພາຍໃຕ້ອັດຕາສ່ວນທີ່ແນ່ນອນຂອງໄອອອນຕໍ່ອະຕອມ, ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍມີທິດທາງທີ່ເລືອກໄດ້ດີກ່ວາຊັ້ນເຍື່ອທີ່ວາງໂດຍການຖິ້ມໄອຄວາມຮ້ອນ.

④ ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການຕ້ານການກັດກ່ອນ ແລະ ການຜຸພັງຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລ. ເນື່ອງຈາກຊັ້ນເຍື່ອຫຸ້ມເຊລມີລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການຕ້ານການຜຸພັງ, ໂຄງສ້າງການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງຖານເຍື່ອຈະດີຂຶ້ນ ຫຼື ການສ້າງສະພາບທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ ເນື່ອງຈາກການຫາຍໄປຂອງເສັ້ນຂອບລະຫວ່າງອະນຸພາກ, ເຊິ່ງເອື້ອອຳນວຍໃຫ້ວັດສະດຸມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ການຜຸພັງເພີ່ມຂຶ້ນ.

ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງວັດສະດຸ ແລະ ຕ້ານກັບຜົນກະທົບຂອງການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ.

(5) ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດທາງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຂອງຟິມ ແລະ ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຟິມບາງໆທາງແສງ. (6) ການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍໃນການເຕີບໂຕຂອງຟິມບາງໆຕ່າງໆໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ວັດສະດຸ ຫຼື ຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຈະເກີດຈາກການປະຕິບັດໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເນື່ອງຈາກພາລາມິເຕີທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການວາງຊັ້ນປະລໍາມະນູ ແລະ ການຝັງໄອອອນສາມາດປັບໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ ແລະ ເປັນອິດສະຫຼະ, ແລະ ການເຄືອບຂອງໄມໂຄຣແມັດສອງສາມມິເຕີທີ່ມີສ່ວນປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງສາມາດສ້າງຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງດ້ວຍພະລັງງານການຖິ້ມລະເບີດຕໍ່າ.