① Технологияи ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ бо часпакии қавӣ байни плёнка ва субстрат тавсиф мешавад ва қабати плёнка хеле мустаҳкам аст. Таҷрибаҳо нишон доданд, ки: часпакии ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ нисбат ба часпакии ҷойгиркунии буғи гармӣ аз якчанд маротиба то садҳо маротиба афзоиш ёфтааст, сабаб асосан аз таъсири тозакунии бомбаборони ионӣ дар сатҳи он вобаста аст, ки дар натиҷа интерфейси асосии мембрана сохтори интерфейси градиентӣ ё қабати гузариши гибридиро ташкил медиҳад, инчунин фишори мембранаро коҳиш медиҳад.
2. Чопкунии бо ёрии шуоъи ионӣ метавонад хосиятҳои механикии плёнкаро беҳтар созад, мӯҳлати хастагиро дароз кунад ва барои тайёр кардани оксидҳо, карбидҳо, BN мукаабӣ, TiB ва рӯйпӯшҳои монанд ба алмос хеле мувофиқ аст. Масалан, дар пӯлоди 1Crl8Ni9Ti бо истифода аз технологияи чопкунии бо ёрии шуоъи ионӣ барои парвариши плёнкаи тунуки 200nm SiN на танҳо метавонад пайдоиши тарқишҳои хастагиро дар сатҳи мавод боздорад, балки инчунин метавонад суръати паҳншавии тарқишҳои хастагиро ба таври назаррас коҳиш диҳад ва дар дароз кардани мӯҳлати хизмати он нақши хуб дорад.
③ Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ион метавонад хусусияти шиддати плёнкаро тағйир диҳад ва сохтори кристаллии онро тағйир диҳад. Масалан, ҳангоми тайёр кардани плёнкаи Cr бо бомбаборди 11.5 кэВ Xe+ ё Ar+ сатҳи субстрат, муайян карда шуд, ки танзими ҳарорати субстрат, энергияи иони бомбаборди, таносуби воридшавии ион ва атом ва дигар параметрҳо метавонад фишорро аз шиддати кашиш ба фишори фишурдашаванда ба вуҷуд орад, сохтори кристаллии плёнка низ тағйирот ба вуҷуд меорад. Дар зери таносуби муайяни ионҳо ба атомҳо, ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ион нисбат ба қабати мембрана, ки бо гузоштани буғи гармӣ ҷойгир шудааст, самти интихобии беҳтар дорад.
④ Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ метавонад муқовимати зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мембранаро афзоиш диҳад. Азбаски қабати мембрана зич аст, сохтори интерфейси пояи мембрана ё пайдоиши ҳолати аморфӣ дар натиҷаи нопадид шудани сарҳади дона байни зарраҳо беҳтар мешавад, ки ба афзоиши муқовимати зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мавод мусоидат мекунад.
Муқовимати зангзании маводро беҳтар кунед ва ба таъсири оксидкунандаи ҳарорати баланд муқовимат кунед.
(5) Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ метавонад хосиятҳои электромагнитии плёнкаро тағйир диҳад ва кори плёнкаҳои тунуки оптикиро беҳтар созад. (6) Ҷойгиркунии бо ёрии ионӣ имкон медиҳад, ки плёнкаҳои тунуки гуногун дар ҳарорати паст афзоиш ёбанд ва аз таъсири манфии маводҳо ё қисмҳои дақиқ, ки дар натиҷаи коркард дар ҳарорати баланд ба вуҷуд меоянд, пешгирӣ мекунад, зеро параметрҳои марбут ба ҷойгиркунии атомӣ ва имплантатсияи ионӣ метавонанд дақиқ ва мустақилона танзим карда шаванд ва пӯшишҳои чанд микрометр бо таркиби якхела метавонанд дар энергияҳои пасти бомбабордкунӣ пайваста тавлид шаванд.
Вақти нашр: 07 марти соли 2024