Tekonolosi o le Fa'aputuina o le Ion Beam

① O le tekinolosi o le fa'apipi'iina o le Ion beam e fa'ailoaina i le malosi o le pipii i le va o le ata tifaga ma le substrate, e matua malosi lava le vaega o le ata tifaga. Ua fa'aalia i fa'ata'ita'iga: o le pipii o le fa'apipi'iina o le ion beam e fa'ateleina ai le pipii o le fa'apipi'iina o le ausa vevela nai lo le fa'apipi'iina o le vevela i le tele o taimi i le selau taimi, o le mafua'aga autu e mafua mai i le fa'amama o le ion i luga o le fogā'ele'ele, ina ia mafai ai e le membrane base interface ona fausia se fausaga interfacial gradient, po'o se hybrid transition layer, fa'apea fo'i ma le fa'aitiitia o le mamafa o le membrane.

② E mafai e le fa'aputuina fesoasoani i le ave Ion ona fa'aleleia atili meatotino fa'ainisinia o le ata tifaga, fa'alauteleina le ola o le vaivai, e matua talafeagai lava mo le sauniaina o oxides, carbides, cubic BN, TiB: ma vali e pei o taimane. Mo se fa'ata'ita'iga, i le u'amea e tete'e i le vevela 1Crl8Ni9Ti i le fa'aaogaina o le tekinolosi fa'aputuina fesoasoani i le ave ion e fa'atupula'ia ai le 200nm SiN, o le ata tifaga manifinifi, e le gata e mafai ona taofia ai le tula'i mai o māvaevae o le vaivai i luga o le mea, ae mafai fo'i ona fa'aitiitia tele le fua faatatau o le fa'asalalauina o māvaevae o le vaivai, ma fa'alauteleina lona ola e iai sona sao lelei.

③ E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le Ion beam ona suia le natura o le atuatuvale o le ata tifaga ma suia ai lona fausaga tioata. Mo se fa'ata'ita'iga, o le sauniaina o le ata tifaga Cr ma le 11.5keV Xe + po'o le Ar + o le fogāeleele o le substrate, na maua ai o le fetu'una'iga o le vevela o le substrate, le malosi o le ion o le fa'aputuga, le fua faatatau o le taunuu mai o le ion ma le atom ma isi fa'ailoga, e mafai ona faia ai le atuatuvale mai le tensile i le compressive stress, o le fausaga tioata o le ata tifaga o le a faia ai fo'i ni suiga. I lalo o se fua fa'atatau patino o ions i atoms, o le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam e sili atu le fa'atulagaina filifilia nai lo le vaega o le membrane na fa'aputuina e le fa'aputuga ausa vevela.

④ E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le ave ion ona fa'aleleia atili le tete'e atu i le 'ele ma le tete'e atu i le 'okesene' o le membrane. Talu ai ona mafiafia le fa'aputuga fesoasoani a le ave ion o le vaega o le membrane, e fa'aleleia atili ai le fausaga o le fa'avae o le membrane po'o le fa'avaeina o se tulaga amorphous e mafua mai i le mou atu o le tuaoi o fatu i le va o vaega, lea e fesoasoani i le fa'aleleia atili o le tete'e atu i le 'ele ma le tete'e atu i le 'okesene' o le meafaitino.

Fa'aleleia le tete'e atu o le meafaitino i le 'ele ma tete'e atu i le aafiaga o le fa'a'okesaita o le vevela maualuga.

(5) E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le Ion beam ona suia meatotino eletise o le ata tifaga ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o ata tifaga manifinifi opitika. (6) E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le Ion ona tuputupu a'e ai ata tifaga manifinifi eseese i le vevela maualalo ma 'alofia ai a'afiaga leaga i meafaitino po'o vaega sa'o e mafua mai i togafitiga i le vevela maualuga, talu ai o fa'atulagaga e feso'ota'i ma le fa'aputuga atomika ma le fa'apipi'iina o le ion e mafai ona fetu'una'i ma le sa'o ma le tuto'atasi, ma o ufiufi o ni nai micrometers ma le tu'ufa'atasiga tutusa e mafai ona fa'atupuina pea i le malosi maualalo o le pomu.