1 Ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasi plyonka va substrat o'rtasida kuchli yopishish bilan tavsiflanadi, plyonka qatlami juda kuchli. Tajribalar shuni ko'rsatdiki: ion nurlari yordamida cho'ktirishda yopishish termal bug' cho'ktirishga qaraganda bir necha baravardan yuzlab baravargacha oshadi, buning sababi asosan sirtdagi ion bombardimonining tozalash effekti bilan bog'liq, natijada membrana asosi interfeysi gradient interfeys tuzilishini yoki gibrid o'tish qatlamini hosil qiladi, shuningdek, membrananing stressini kamaytiradi.
2 Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning mexanik xususiyatlarini yaxshilashi, charchoq muddatini uzaytirishi mumkin, oksidlar, karbidlar, kubik BN, TiB va olmosga o'xshash qoplamalarni tayyorlash uchun juda mos keladi. Masalan, 1Crl8Ni9Ti issiqlikka chidamli po'latda ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasidan foydalangan holda 200 nm SiN yupqa plyonka o'stiriladi, bu nafaqat material yuzasida charchoq yoriqlari paydo bo'lishini oldini oladi, balki charchoq yoriqlarining tarqalish tezligini sezilarli darajada kamaytiradi va uning umrini uzaytiradi.
③ Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning kuchlanish xususiyatini va uning kristalli tuzilishini o'zgartirishi mumkin. Masalan, substrat yuzasini 11,5 keV Xe + yoki Ar + bombardimon qilish orqali Cr plyonkasini tayyorlash natijasida substrat harorati, bombardimon qilish ion energiyasi, ion va atomning kelish nisbati va boshqa parametrlarni sozlash kuchlanishni cho'zilishdan siqilish kuchlanishiga o'tkazishi mumkinligi aniqlandi, plyonkaning kristalli tuzilishi ham o'zgarishlarga olib keladi. Ionlarning atomlarga ma'lum nisbati ostida, ion nurlari yordamida cho'ktirish termal bug' cho'ktirish orqali cho'ktirilgan membrana qatlamiga qaraganda yaxshiroq selektiv yo'nalishga ega.
4. Ion nurlari yordamida cho'ktirish membrananing korroziyaga chidamliligi va oksidlanishga chidamliligini oshirishi mumkin. Membrana qatlamining ion nurlari yordamida cho'kishi zich bo'lgani uchun, zarrachalar orasidagi don chegarasining yo'qolishi natijasida membrana asosining interfeys tuzilishi yaxshilanadi yoki amorf holat hosil bo'ladi, bu esa materialning korroziyaga chidamliligi va oksidlanishga chidamliligini oshirishga yordam beradi.
Materialning korroziyaga chidamliligini oshiring va yuqori haroratning oksidlovchi ta'siriga qarshi turing.
(5) Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning elektromagnit xususiyatlarini o'zgartirishi va optik yupqa plyonkalarning ishlashini yaxshilashi mumkin. (6) Ion yordamida cho'ktirish past haroratlarda turli yupqa plyonkalarning o'sishiga imkon beradi va yuqori haroratlarda ishlov berish natijasida materiallarga yoki aniq qismlarga salbiy ta'sir ko'rsatishning oldini oladi, chunki atom cho'ktirish va ion implantatsiyasi bilan bog'liq parametrlarni aniq va mustaqil ravishda sozlash mumkin va bir xil tarkibga ega bir necha mikrometr qoplamalar past bombardimon energiyalarida uzluksiz ravishda yaratilishi mumkin.
Nashr vaqti: 2024-yil 7-mart