① আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তির বৈশিষ্ট্য হলো ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে শক্তিশালী আসঞ্জন, এবং এর ফলে ফিল্মের স্তরটি খুব মজবুত হয়। পরীক্ষায় দেখা গেছে যে, আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের আসঞ্জন থার্মাল ভেপার ডিপোজিশনের চেয়ে কয়েকগুণ থেকে শতগুণ পর্যন্ত বৃদ্ধি পায়। এর প্রধান কারণ হলো পৃষ্ঠতলের উপর আয়নের আঘাতজনিত পরিষ্কারক প্রভাব, যা মেমব্রেন ও সাবস্ট্রেটের সংযোগস্থলে একটি গ্রেডিয়েন্ট ইন্টারফেসিয়াল কাঠামো বা হাইব্রিড ট্রানজিশন লেয়ার তৈরি করে এবং মেমব্রেনের উপর চাপও কমায়।
২ আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন ফিল্মের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য উন্নত করতে এবং এর ক্লান্তিজনিত আয়ু বাড়াতে পারে, যা অক্সাইড, কার্বাইড, কিউবিক BN, TiB এবং ডায়মন্ড-লাইক কোটিং তৈরির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত। উদাহরণস্বরূপ, 1Crl8Ni9Ti তাপ-প্রতিরোধী স্টিলের ক্ষেত্রে আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তি ব্যবহার করে 200nm SiN পাতলা ফিল্ম তৈরি করা হলে, তা কেবল উপাদানের পৃষ্ঠে ক্লান্তিজনিত ফাটলের উদ্ভবকেই বাধা দেয় না, বরং ক্লান্তিজনিত ফাটলের প্রসারণের হারও উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে, যা এর আয়ু বাড়াতে একটি ভালো ভূমিকা পালন করে।
③ আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন ফিল্মের স্ট্রেসের প্রকৃতি পরিবর্তন করতে পারে এবং এর ক্রিস্টালাইন কাঠামোও পরিবর্তিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে 11.5keV Xe+ বা Ar+ বোম্বার্ডমেন্টের মাধ্যমে Cr ফিল্ম তৈরির ক্ষেত্রে দেখা গেছে যে, সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা, বোম্বার্ডমেন্ট আয়নের শক্তি, আয়ন ও পরমাণুর আগমনের অনুপাত এবং অন্যান্য প্যারামিটার সমন্বয় করে স্ট্রেসকে টেনসাইল থেকে কম্প্রেসিভ স্ট্রেসে পরিবর্তন করা যায়, যার ফলে ফিল্মের ক্রিস্টাল কাঠামোতেও পরিবর্তন আসে। আয়ন ও পরমাণুর একটি নির্দিষ্ট অনুপাতের অধীনে, আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের সিলেক্টিভ ওরিয়েন্টেশন থার্মাল ভেপার ডিপোজিশন দ্বারা জমা করা মেমব্রেন লেয়ারের চেয়ে ভালো।
④ আয়ন বিম সহায়ক অবক্ষেপণ মেমব্রেনের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা বৃদ্ধি করতে পারে। যেহেতু মেমব্রেন স্তরের আয়ন বিম সহায়ক অবক্ষেপণ ঘন হয়, তাই কণাগুলোর মধ্যেকার দানা সীমানা বিলুপ্ত হওয়ার ফলে মেমব্রেন বেস ইন্টারফেস কাঠামোর উন্নতি ঘটে অথবা অনিয়তাকার অবস্থার সৃষ্টি হয়, যা উপাদানটির ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা বৃদ্ধিতে সহায়ক।
উপাদানটির ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা বৃদ্ধি করে এবং উচ্চ তাপমাত্রার জারণ প্রভাব প্রতিরোধ করে।
(5) আয়ন বিম সহায়ক অবক্ষেপণ ফিল্মের তড়িৎচুম্বকীয় বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করতে পারে এবং অপটিক্যাল পাতলা ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে পারে। (6) আয়ন-সহায়ক অবক্ষেপণ কম তাপমাত্রায় বিভিন্ন পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি ঘটায় এবং উচ্চ তাপমাত্রায় প্রক্রিয়াকরণের কারণে উপকরণ বা সূক্ষ্ম যন্ত্রাংশের উপর যে প্রতিকূল প্রভাব পড়তে পারে তা এড়িয়ে চলে, কারণ পারমাণবিক অবক্ষেপণ এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন সম্পর্কিত প্যারামিটারগুলি নির্ভুলভাবে এবং স্বাধীনভাবে সামঞ্জস্য করা যায়, এবং কম বোমাবর্ষণ শক্তিতে সামঞ্জস্যপূর্ণ গঠন সহ কয়েক মাইক্রোমিটারের আবরণ ক্রমাগত তৈরি করা যায়।
পোস্ট করার সময়: ০৭-মার্চ-২০২৪