① បច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយការស្អិតជាប់ខ្លាំងរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមានភាពរឹងមាំខ្លាំង។ ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថា៖ ការស្អិតជាប់នៃការដាក់ស្រទាប់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងកើនឡើងច្រើនដងដល់រាប់រយដង ហេតុផលភាគច្រើនដោយសារតែការទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងលើផ្ទៃនៃឥទ្ធិពលសម្អាត ដូច្នេះចំណុចប្រសព្វនៃមូលដ្ឋានភ្នាសបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធជម្រាល ឬស្រទាប់អន្តរកាលចម្រុះ ក៏ដូចជាកាត់បន្ថយភាពតានតឹងនៃភ្នាស។
② ការដាក់ស្រទាប់ដែកជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈមេកានិចនៃខ្សែភាពយន្ត ពន្យារអាយុកាលនៃការអស់កម្លាំង ស័ក្តិសមខ្លាំងសម្រាប់ការរៀបចំអុកស៊ីដ កាបូអ៊ីដ គូប BN TiB: និងថ្នាំកូតដូចពេជ្រ។ ឧទាហរណ៍ ក្នុងដែកថែបធន់នឹងកម្ដៅ 1Crl8Ni9Ti ការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ដែកជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដើម្បីដាំស្រទាប់ដែកស្តើង SiN 200 nm មិនត្រឹមតែអាចទប់ស្កាត់ការកើតមានស្នាមប្រេះអស់កម្លាំងលើផ្ទៃសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏អាចកាត់បន្ថយអត្រាសាយភាយនៃស្នាមប្រេះអស់កម្លាំងយ៉ាងសំខាន់ ដែលការពន្យារអាយុកាលរបស់វាមានតួនាទីល្អ។
③ ការដាក់ស្រទាប់ការពារដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចជួយផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈស្ត្រេសនៃខ្សែភាពយន្ត ហើយរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់របស់វាក៏ផ្លាស់ប្តូរផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ ការរៀបចំខ្សែភាពយន្ត Cr ជាមួយនឹងការបាញ់ផ្លោង Xe+ ឬ Ar+ 11.5 keV លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម បានរកឃើញថា ការកែតម្រូវសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម ថាមពលអ៊ីយ៉ុងបាញ់ផ្លោង សមាមាត្រមកដល់អ៊ីយ៉ុង និងអាតូម និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងទៀត អាចធ្វើឱ្យភាពតានតឹងពីភាពតានតឹង tensile ទៅភាពតានតឹងបង្ហាប់ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់នៃខ្សែភាពយន្តក៏នឹងបង្កើតការផ្លាស់ប្តូរផងដែរ។ ក្រោមសមាមាត្រជាក់លាក់នៃអ៊ីយ៉ុងទៅនឹងអាតូម ការដាក់ស្រទាប់ការពារដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមានទិសដៅជ្រើសរើសល្អជាងស្រទាប់ភ្នាសដែលដាក់ដោយការដាក់ស្រទាប់ការពារដោយចំហាយកម្ដៅ។
④ ការដាក់ស្រទាប់ដោយមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចបង្កើនភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃភ្នាស។ ដោយសារតែការដាក់ស្រទាប់ដោយមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងនៃស្រទាប់ភ្នាសមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ការកែលម្អរចនាសម្ព័ន្ធចំណុចប្រទាក់មូលដ្ឋានភ្នាស ឬការបង្កើតស្ថានភាព amorphous ដែលបណ្តាលមកពីការបាត់ខ្លួននៃព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិរវាងភាគល្អិត ដែលអំណោយផលដល់ការបង្កើនភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃសម្ភារៈ។
បង្កើនភាពធន់នឹងការច្រេះនៃសម្ភារៈ និងទប់ទល់នឹងឥទ្ធិពលអុកស៊ីតកម្មនៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
(5) ការដាក់ស្រទាប់ដែលមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃខ្សែភាពយន្ត និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិក។ (6) ការដាក់ស្រទាប់ដែលមានជំនួយពីអ៊ីយ៉ុងអនុញ្ញាតឱ្យមានការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងៗនៅសីតុណ្ហភាពទាប និងជៀសវាងផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានលើសម្ភារៈ ឬផ្នែកដែលមានភាពជាក់លាក់ដែលនឹងបណ្តាលមកពីការព្យាបាលនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយសារប៉ារ៉ាម៉ែត្រដែលទាក់ទងនឹងការដាក់ស្រទាប់អាតូម និងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងអាចត្រូវបានកែតម្រូវបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ និងដោយឯករាជ្យ ហើយថ្នាំកូតនៃមីក្រូម៉ែត្រពីរបីដែលមានសមាសភាពស្របគ្នាអាចត្រូវបានបង្កើតជាបន្តបន្ទាប់នៅថាមពលទម្លាក់គ្រាប់បែកទាប។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែមីនា-០៧-២០២៤