Ukadaulo Woyika Ma Ion Beam

① Ukadaulo wothandiza kuyika ion beam umadziwika ndi kuuma kwamphamvu pakati pa filimu ndi substrate, ndipo gawo la filimu ndi lamphamvu kwambiri. Kafukufuku wasonyeza kuti: kuuma kwa ion beam kunawonjezeka kangapo mpaka mazana ambiri chifukwa cha kuuma kwa ion pamwamba pa zotsatira zoyeretsa, zomwe zimapangitsa kuti nembanemba ipange mawonekedwe a gradient interfacial, kapena gawo losasinthika la hybrid, komanso kuchepetsa kupsinjika kwa nembanemba.

② Kuyika kwa ion beam kumathandiza kukonza mawonekedwe a makina a filimuyi, kukulitsa moyo wa kutopa, koyenera kwambiri pokonzekera ma oxides, carbides, cubic BN, TiB: ndi zokutira ngati diamondi. Mwachitsanzo, mu 1Crl8Ni9Ti chitsulo chosagwira kutentha chimagwiritsa ntchito ukadaulo woyika ion beam-assisted deposition kukula kwa 200nm SiN, filimu yopyapyala, sikuti kungoletsa kuoneka kwa ming'alu ya kutopa pamwamba pa zinthuzo, komanso kungachepetse kwambiri kuchuluka kwa kutopa kwa ming'alu, kukulitsa moyo wake kuli ndi gawo labwino.

③ Kuyika kwa ion beam assisted deposition kungasinthe mtundu wa kupsinjika kwa filimuyi ndi kusintha kwa kapangidwe kake ka crystalline. Mwachitsanzo, kukonzekera kwa filimu ya Cr yokhala ndi 11.5keV Xe + kapena Ar + bombardment ya pamwamba pa substrate, kwapeza kuti kusintha kwa kutentha kwa substrate, mphamvu ya ion bombardment, chiŵerengero cha ion ndi atomu ndi magawo ena, kungapangitse kupsinjika kuchokera ku kupsinjika kwa tensile kupita ku kupsinjika, kapangidwe ka kristalo ka filimuyi kudzapanganso kusintha. Pansi pa chiŵerengero china cha ma ion ku maatomu, ion beam assisted deposition ili ndi njira yabwino yosankha kuposa gawo la nembanemba lomwe limayikidwa ndi kutentha kwa nthunzi.

④ Kuyika kwa ion beam kumathandiza kuonjezera kukana dzimbiri ndi kukana okosijeni kwa nembanemba. Popeza ion beam yothandizira kuyika kwa membrane wosanjikiza ndi wokhuthala, kapangidwe ka membrane base interface kamakula kapena kupangika kwa amorphous state komwe kumachitika chifukwa cha kutha kwa malire a tirigu pakati pa tinthu tating'onoting'ono, zomwe zimathandiza kukulitsa kukana dzimbiri ndi kukana okosijeni kwa zinthuzo.

Limbikitsani kukana dzimbiri kwa zinthuzo ndikupewa mphamvu ya okosijeni ya kutentha kwambiri.

(5) Kuyika kwa ion beam kothandizidwa ndi ion kumatha kusintha mphamvu zamagetsi za filimuyi ndikuwonjezera magwiridwe antchito a mafilimu owonda owoneka bwino. (6) Kuyika kwa ion-assisted kumalola kukula kwa mafilimu owonda osiyanasiyana kutentha kochepa ndikupewa zotsatira zoyipa pazinthu kapena zigawo zolondola zomwe zingachitike chifukwa cha chithandizo kutentha kwambiri, popeza magawo okhudzana ndi kuyika kwa atomiki ndi kuyika kwa ion amatha kusinthidwa molondola komanso pawokha, ndipo zokutira za ma micrometer ochepa okhala ndi kapangidwe kogwirizana zimatha kupangidwa mosalekeza pamphamvu zochepa za bombardment.