ئىئون نۇرى چۆكمە تېخنىكىسى

1. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسى پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى كۈچلۈك يېپىشتۇرۇش بىلەن خاراكتېرلىنىدۇ، پىلاستىنكا قەۋىتى ناھايىتى كۈچلۈك. تەجرىبىلەر شۇنى كۆرسەتتىكى، ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە چاپلىشىش ئىسسىقلىق پار چۆكمىسى چاپلىشىشقا قارىغاندا بىر قانچە ھەسسەدىن يۈز ھەسسەگىچە ئاشىدۇ، بۇنىڭ سەۋەبى ئاساسلىقى يۈزدىكى ئىئون بومباردىمانىنىڭ تازىلاش ئۈنۈمىدىن كېلىپ چىقىدۇ، بۇنىڭ بىلەن پەردە ئاساسى يۈزى گرادىيېنتلىق يۈز يۈزى قۇرۇلمىسى ياكى ئارىلاشما ئۆتكۈنچى قەۋەت ھاسىل قىلىدۇ، شۇنداقلا پەردىنىڭ بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

2 ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاپ، چارچاش ئۆمرىنى ئۇزارتالايدۇ، ئوكسىد، كاربىد، كۇب BN، TiB ۋە ئالماسقا ئوخشاش قاپلاملارنى تەييارلاشقا ناھايىتى ماس كېلىدۇ. مەسىلەن، 1Crl8Ni9Ti ئىسسىققا چىداملىق پولاتتا ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ، 200nm SiN نېپىز پىلاستىنكىنى ئۆستۈرگىلى بولىدۇ، بۇ پەقەت ماتېرىيال يۈزىدە چارچاش يېرىقلىرىنىڭ پەيدا بولۇشىنى توسۇپلا قالماي، يەنە چارچاش يېرىقىنىڭ تارقىلىش سۈرئىتىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىپ، ئۆمرىنى ئۇزارتىشتا ياخشى رول ئوينايدۇ.

③ ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ بېسىم خاراكتېرىنى ۋە ئۇنىڭ كرىستال قۇرۇلمىسىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ. مەسىلەن، ئاساسىي قاتلام يۈزىگە 11.5keV Xe+ ياكى Ar+ بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق Cr پىلاستىنكىسىنى تەييارلاش جەريانىدا، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى، بومباردىمان قىلىش ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون ۋە ئاتومنىڭ كېلىش نىسبىتى قاتارلىق پارامېتىرلارنى تەڭشەش بېسىمنى تارتىش كۈچىدىن سىقىلىش كۈچىگىچە ئۆزگەرتەلەيدىغانلىقى، پىلاستىنكىنىڭ كرىستال قۇرۇلمىسىدىمۇ ئۆزگىرىشلەرنى پەيدا قىلىدىغانلىقى بايقالدى. ئىئونلارنىڭ ئاتومغا بولغان مەلۇم نىسبىتى ئاستىدا، ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە ئىسسىقلىق پار چۆكمىسى ئارقىلىق چۆكمە قىلىنغان پەردە قەۋىتىگە قارىغاندا ياخشى تاللاش يۆنىلىشىگە ئىگە.

1. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پەردىنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئوكسىدلىنىشقا چىدامچانلىقىنى ئاشۇرالايدۇ. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پەردە قەۋىتى زىچ بولغاچقا، پەردە ئاساسىنىڭ يۈزى قۇرۇلمىسى ياخشىلىنىدۇ ياكى زەررىچىلەر ئارىسىدىكى دانچە چېگرىسىنىڭ يوقىلىشى سەۋەبىدىن ئامورف ھالەت شەكىللىنىدۇ، بۇ ماتېرىيالنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئوكسىدلىنىشقا چىدامچانلىقىنى ئاشۇرۇشقا پايدىلىق.

ماتېرىيالنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقىنى ئاشۇرىدۇ ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ ئوكسىدلىنىش تەسىرىگە قارشى تۇرىدۇ.

(5) ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ ئېلېكترو ماگنىتلىق خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىپ، ئوپتىكىلىق نېپىز پىلاستىنكىلارنىڭ ئىقتىدارىنى ياخشىلىيالايدۇ. (6) ئىئون ياردەملىك چۆكمە تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ھەر خىل نېپىز پىلاستىنكىلارنىڭ ئۆسۈشىگە يول قويىدۇ ھەمدە ئاتوم چۆكمىسى ۋە ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسىگە مۇناسىۋەتلىك پارامېتىرلارنى توغرا ۋە مۇستەقىل تەڭشىگىلى بولىدىغانلىقى، ھەمدە تۆۋەن بومباردىمان ئېنېرگىيەسىدە ئۈزلۈكسىز تەركىبىي قىسىملىق بىر قانچە مىكرومېتىرلىق قاپلاش ھاسىل قىلغىلى بولىدىغانلىقى ئۈچۈن، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش سەۋەبىدىن كېلىپ چىقىدىغان ماتېرىياللار ياكى ئېنىقلىق قىسىملارغا بولغان سەلبىي تەسىرلەرنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.