① Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìtọ́jú ion beam assisted deposition ni a fi àmì ìsopọ̀ tó lágbára láàrín fíìmù àti substrate náà, fíìmù náà lágbára gan-an. Àwọn àyẹ̀wò ti fihàn pé: ìtọ́jú ion beam assisted deposition ti adhesion ju ìsopọ̀ hot vapor deposition pọ si ni ọpọlọpọ igba si ọgọọgọrun igba, idi naa jẹ pataki nitori bombardment ion lori oju ipa mimọ, nitorinaa ki asopọ ipilẹ membrane lati ṣẹda eto interfacial gradient, tabi fẹlẹfẹlẹ iyipada hybrid, ati lati dinku wahala ti membrane.
② Isopomora Ion beam le mu awọn agbara ẹrọ ti fiimu naa dara si, fa igbesi aye rirẹ pọ si, o dara pupọ fun igbaradi ti awọn oxides, carbides, cubic BN, TiB: ati awọn ibora bi diamond. Fun apẹẹrẹ, ninu irin 1Crl8Ni9Ti ti o ni ooru ti o ni agbara lori lilo imọ-ẹrọ ifipamọ ion ti o ṣe iranlọwọ fun ion beam lati dagba 200nm SiN, fiimu tinrin, kii ṣe pe o le ṣe idiwọ ifarahan awọn fifọ rirẹ lori oju ohun elo naa nikan, ṣugbọn o tun le dinku oṣuwọn itankale rirẹ ni pataki, lati fa igbesi aye rẹ pọ si ni ipa ti o dara.
③ Ìfipamọ́ oníná ion le yí ìrísí wahala fíìmù náà padà àti ìrísí kristali rẹ̀ yóò yípadà. Fún àpẹẹrẹ, ìpèsè fíìmù Cr pẹ̀lú ìfòmọ́lẹ̀ 11.5keV Xe + tàbí Ar + ti ojú ilẹ̀ substrate, fihàn pé ìṣàtúnṣe iwọn otutu substrate, agbára ion bombardment, ion àti atom dé ratio àti àwọn paramita mìíràn, le mú kí ìfòmọ́lẹ̀ náà láti tensile sí compressive stress, ìrísí kristali ti fíìmù náà yóò tún mú àwọn ìyípadà wá. Lábẹ́ ìpíndọ́gba kan ti àwọn ions sí àwọn átọ̀mù, ìfipamọ́ oníná ion ní ìtọ́sọ́nà yíyàn tí ó dára ju ìpele membrane tí ìfipamọ́ oníná thermal vaporative gbé kalẹ̀ lọ.
④ Ìfipamọ́ oníná ion le mu resistance ipata ati resistance oxidation ti awo naa pọ si. Bi ifipamọ́ oníná ion ti awo naa ti nipọn, ilọsiwaju eto ipilẹ awo naa tabi dida ipo amorphous ti o waye nipasẹ pipadanu ala ọkà laarin awọn patikulu, eyiti o ṣe iranlọwọ fun imudara resistance ipata ati resistance oxidation ti ohun elo naa.
Mu resistance ipata ti ohun elo naa pọ si ki o si koju ipa oxidizing ti iwọn otutu giga.
(5) Ìfipamọ́ ion onírànlọ́wọ́ lórí ìtànṣán lè yí àwọn ànímọ́ oníná mànàmáná ti fíìmù náà padà kí ó sì mú kí iṣẹ́ àwọn fíìmù oníná mànàmáná tó ń ṣiṣẹ́ sunwọ̀n sí i. (6) Ìfipamọ́ ion onírànlọ́wọ́ ń jẹ́ kí onírúurú fíìmù oníná mànàmáná ní ìwọ̀n otútù tó kéré, ó sì ń yẹra fún àwọn ipa búburú lórí àwọn ohun èlò tàbí àwọn ẹ̀yà tí ó péye tí ìtọ́jú yóò fà ní ìwọ̀n otútù tó ga, nítorí pé a lè ṣàtúnṣe àwọn pàrámítà tó ní í ṣe pẹ̀lú ìfipamọ́ átọ́míìkì àti ìfipamọ́ ion ní ọ̀nà tó péye àti láìsí ìyípadà, àti pé a lè ṣe àwọn ìbòrí àwọn micrometer díẹ̀ pẹ̀lú ìdàpọ̀ tó péye nígbà gbogbo ní agbára ìbọn kékeré.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-07-2024