① Ион нуры ярдәмендә урнаштыру технологиясе пленка һәм субстрат арасындагы көчле адгезия белән характерлана, пленка катламы бик нык. Экспериментлар күрсәткәнчә: ион нуры ярдәмендә урнаштыруда адгезия термик пар урнаштыруга караганда берничә тапкырдан йөзләгән тапкырга кадәр арта, моның сәбәбе, нигездә, өслектә ион бомбардированиесенең чистарту эффекты белән бәйле, шуның белән мембрана нигезе интерфейсы градиентлы интерфейс структурасын яки гибрид күчеш катламын барлыкка китерә, шулай ук мембрананың киеренкелеген киметә.
2 Ион нуры ярдәмендә урнаштыру пленканың механик үзлекләрен яхшырта, арыганлык гомерен озайта ала, оксидлар, карбидлар, куб BN, TiB һәм алмазсыман капламалар әзерләү өчен бик яраклы. Мәсәлән, 1Crl8Ni9Ti җылылыкка чыдам корычта ион нуры ярдәмендә урнаштыру технологиясен кулланып, 200 нм SiN үсә, юка пленка материал өслегендә арыганлык ярыклары барлыкка килүне генә түгел, ә арыганлык ярыкларының таралу тизлеген дә сизелерлек киметә ала, аның гомерен озайтуда мөһим роль уйный.
③ Ион нуры ярдәмендә урнаштыру пленканың көчәнеш табигатен һәм аның кристалл структурасын үзгәртә ала. Мәсәлән, субстрат өслеген 11,5 кэВ Xe+ яки Ar+ белән бомбага тоту белән Cr пленкасын әзерләү, субстрат температурасын, бомбага тоту ион энергиясен, ион һәм атом килү нисбәтен һәм башка параметрларны көйләү көчәнешне тартудан кысу көчәнешенә үзгәртергә мөмкин булуын, пленканың кристалл структурасында да үзгәрешләр булуын күрсәтте. Ионнарның атомнарга билгеле бер нисбәте булганда, ион нуры ярдәмендә урнаштыру термик пар белән урнаштыру белән урнаштырылган мембрана катламына караганда яхшырак сайлап алу юнәлешенә ия.
④ Ион нуры ярдәмендә утырту мембрананың коррозиягә һәм оксидлашуга чыдамлыгын арттыра ала. Мембрана катламының ион нуры ярдәмендә утыртуы тыгыз булганлыктан, кисәкчәләр арасындагы бөртек чикләре югалу сәбәпле, мембрана нигезе интерфейсы структурасы яхшыра яки аморф халәт барлыкка килә, бу материалның коррозиягә һәм оксидлашуга чыдамлыгын арттыра.
Материалның коррозиягә чыдамлыгын арттырыгыз һәм югары температураның оксидлаштыру йогынтысына каршы торыгыз.
(5) Ион нурлары ярдәмендә урнаштыру пленканың электромагнит үзлекләрен үзгәртә һәм оптик юка пленкаларның эшчәнлеген яхшырта ала. (6) Ион ярдәмендә урнаштыру түбән температураларда төрле юка пленкаларның үсүенә мөмкинлек бирә һәм югары температураларда эшкәртү нәтиҗәсендә материалларга яки төгәл детальләргә тискәре йогынты ясаудан саклый, чөнки атом урнаштыру һәм ион имплантациясенә бәйле параметрларны төгәл һәм бәйсез рәвештә көйләргә мөмкин, һәм берничә микрометрлы даими составлы каплауларны түбән бомбага тоту энергияләрендә өзлексез рәвештә булдырырга мөмкин.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 7 марты