የአዮን ቢም ዲፖዚሽን ቴክኖሎጂ

① የአዮን ጨረር ድጋፍ የተደረገበት የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ በፊልሙ እና በንጣፉ መካከል ባለው ጠንካራ ማጣበቅ የሚታወቅ ሲሆን የፊልም ንብርብር በጣም ጠንካራ ነው። ሙከራዎች እንደሚያሳዩት፡ የሙቀት ትነት ክምችት ከማጣበቅ ይልቅ የአዮን ጨረር ድጋፍ የተደረገበት የማጣበቅ ክምችት በመቶዎች የሚቆጠሩ ጊዜያት ጨምሯል፣ ምክንያቱ በዋናነት በማጽዳት ውጤት ላይ ባለው የአዮን ቦምብ ድብደባ ምክንያት ነው፣ ስለዚህ የሜምብሬም ቤዝ በይነገጽ የግራዲየንት ኢንተርፌሻል መዋቅር ወይም የተቀላቀለ የሽግግር ንብርብር ለመፍጠር እንዲሁም የሽፋኑን ውጥረት ለመቀነስ።

② የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የፊልሙን ሜካኒካል ባህሪያት ማሻሻል፣ የድካም ህይወትን ማራዘም ይችላል፣ ለኦክሳይድ፣ ለካርቦይድ፣ ለኩቢክ BN፣ ለTiB: እና ለአልማዝ መሰል ሽፋኖች ዝግጅት በጣም ተስማሚ ነው። ለምሳሌ፣ በ1Crl8Ni9Ti ውስጥ በ200nm SiN ለማሳደግ በion ጨረር እገዛ የተደረገበት ማከማቻ ቴክኖሎጂን በመጠቀም በ1Crl8Ni9Ti ውስጥ፣ ቀጭን ፊልም በቁሱ ወለል ላይ የድካም ስንጥቆች እንዳይከሰቱ መከላከል ብቻ ሳይሆን የድካም ስንጥቅ ስርጭት መጠንን በእጅጉ ሊቀንስ ይችላል፣ ህይወቱን ማራዘም ጥሩ ሚና ይጫወታል።

③ የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የፊልሙን የጭንቀት ባህሪ እና የክሪስታሊን መዋቅሩ ሊለውጥ ይችላል። ለምሳሌ፣ የንጣፍ ወለል 11.5kV Xe + ወይም Ar + ቦምብ በመጠቀም የCr ፊልም ማዘጋጀት የንጣፍ ሙቀት ማስተካከያ፣ የቦምብ አዮን ኃይል፣ የአዮን እና የአቶም መድረሻ ጥምርታ እና ሌሎች መለኪያዎች ውጥረቱን ከውጥረት ወደ መጭመቂያ ውጥረት ሊያመጣ እንደሚችል አረጋግጧል፣ የፊልሙ ክሪስታል መዋቅር ለውጦችንም ያስከትላል። በተወሰነ የአዮኖች እና የአቶሞች ጥምርታ ስር፣ የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት በሙቀት ትነት ክምችት ከተቀመጠው የሽፋን ንብርብር የተሻለ የመራጭ አቀማመጥ አለው።

④ የአዮን ጨረር ድጋፍ የተደረገበት ክምችት የሽፋኑን የዝገት መቋቋም እና የኦክሳይድ መቋቋምን ሊያሻሽል ይችላል። የአዮን ጨረር ድጋፍ የተደረገበት የሽፋኑ ንብርብር ጥቅጥቅ ያለ በመሆኑ፣ የሽፋኑ መሰረታዊ በይነገጽ መዋቅር መሻሻል ወይም በቅንጣቶቹ መካከል ያለው የእህል ድንበር በመጥፋቱ ምክንያት የአሞርፎስ ሁኔታ መፈጠር ምክንያት ሲሆን ይህም የቁሳቁሱን የዝገት መቋቋም እና የኦክሳይድ መቋቋምን ለማሻሻል ይረዳል።

የቁሳቁሱን የዝገት መቋቋም አቅም ያሳድጉ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን የኦክሳይድ ተፅእኖን ይቋቋሙ።

(5) በአዮን ጨረር የታገዘ ክምችት የፊልሙን የኤሌክትሮማግኔቲክ ባህሪያት ሊለውጥ እና የኦፕቲካል ቀጭን ፊልሞችን አፈፃፀም ሊያሻሽል ይችላል። (6) በአዮን የታገዘ ክምችት የተለያዩ ቀጭን ፊልሞች በዝቅተኛ የሙቀት መጠን እንዲያድጉ ያስችላል እና ከአቶሚክ ክምችት እና ከአዮን ተከላ ጋር የተያያዙ መለኪያዎች በትክክል እና በተናጥል ሊስተካከሉ ስለሚችሉ፣ እና ወጥ የሆነ ቅንብር ያላቸው ጥቂት ማይክሮሜትሮች ሽፋኖች በዝቅተኛ የቦምብ ድብደባ ኃይል ያለማቋረጥ ሊፈጠሩ ይችላሉ።