1. Ион нурунун жардамы менен чөктүрүү технологиясы пленка менен субстраттын ортосундагы күчтүү адгезия менен мүнөздөлөт, пленка катмары абдан бекем. Эксперименттер көрсөткөндөй: ион нурунун жардамы менен чөктүрүүдө адгезия жылуулук буусунун чөктүрүлүшүнө караганда бир нече эседен жүздөгөн эсеге чейин жогорулайт, себеби негизинен бетке ион бомбалоосунун таасири менен байланыштуу, ошондуктан мембрананын негизинин интерфейси градиенттик интерфейстик түзүлүштү же гибриддик өткөөл катмарды түзөт, ошондой эле мембрананын чыңалышын азайтат.
2 Иондук нур менен чөктүрүү пленканын механикалык касиеттерин жакшыртып, чарчоо мөөнөтүн узарта алат, оксиддерди, карбиддерди, кубдук BN, TiB жана алмаз сымал каптамаларды даярдоого абдан ылайыктуу. Мисалы, 1Crl8Ni9Ti ысыкка чыдамдуу болотто иондук нур менен чөктүрүү технологиясын колдонуу менен 200 нм SiN өстүрүү үчүн жука пленка материалдын бетинде чарчоо жаракаларынын пайда болушун токтотуп гана тим болбостон, чарчоо жаракаларынын диффузия ылдамдыгын бир топ төмөндөтүп, анын иштөө мөөнөтүн узартууга жардам берет.
3 Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү пленканын чыңалуу мүнөзүн жана анын кристаллдык түзүлүшүн өзгөртө алат. Мисалы, субстраттын бетин 11,5 кэВ Xe+ же Ar+ бомбалоо менен Cr пленкасын даярдоодо, субстраттын температурасын, бомбалоо ионунун энергиясын, ион менен атомдун келүү катышын жана башка параметрлерди тууралоо чыңалууну созулуучудан кысылуучуга чейин өзгөртө алары, пленканын кристаллдык түзүлүшү да өзгөрүүлөрдү жаратаары аныкталды. Иондордун атомдорго белгилүү бир катышында, иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү жылуулук буусунун чөктүрүлүшү менен чөктүрүлгөн мембрана катмарына караганда жакшыраак селективдүү багытка ээ.
1. Ион нурунун жардамы менен чөктүрүү мембрананын коррозияга жана кычкылданууга туруктуулугун жогорулатат. Мембрана катмарынын ион нурунун жардамы менен чөктүрүлүшү тыгыз болгондуктан, бөлүкчөлөрдүн ортосундагы бүртүкчөлөрдүн чек арасынын жоголушу мембрананын негизинин интерфейсинин түзүлүшүн жакшыртат же аморфтук абалдын пайда болушуна алып келет, бул материалдын коррозияга жана кычкылданууга туруктуулугун жогорулатууга өбөлгө түзөт.
Материалдын коррозияга туруктуулугун жогорулатат жана жогорку температуранын кычкылдандыруучу таасирине каршы турат.
(5) Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү пленканын электромагниттик касиеттерин өзгөртүп, оптикалык жука пленкалардын иштешин жакшырта алат. (6) Иондук жардам менен чөктүрүү төмөнкү температурада ар кандай жука пленкалардын өсүшүнө мүмкүндүк берет жана жогорку температурада иштетүүдөн келип чыгышы мүмкүн болгон материалдарга же тактыктагы тетиктерге терс таасирин тийгизбейт, анткени атомдук чөктүрүүгө жана ион имплантациясына байланыштуу параметрлерди так жана көз карандысыз тууралоого болот, ал эми бир нече микрометрлик бирдей курамдагы каптоолорду төмөнкү бомбалоо энергияларында үзгүлтүксүз түзүүгө болот.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 7-марты