1 Иондық сәуле көмегімен тұндыру технологиясы пленка мен негіз арасындағы күшті адгезиямен сипатталады, пленка қабаты өте берік. Тәжірибелер көрсеткендей: иондық сәуле көмегімен тұндыру кезінде адгезия термиялық бумен тұндыру кезіндегі адгезиядан бірнеше еседен жүздеген есеге дейін артады, себебі негізінен бетіндегі иондық бомбалаудың тазарту әсеріне байланысты, осылайша мембрана негізінің интерфейсі градиенттік интерфейстік құрылымды немесе гибридті өтпелі қабатты құрайды, сондай-ақ мембрананың кернеуін азайтады.
2 Иондық сәулемен тұндыру пленканың механикалық қасиеттерін жақсарта алады, шаршау мерзімін ұзарта алады, оксидтерді, карбидтерді, кубтық BN, TiB және гауһар тәрізді жабындарды дайындауға өте қолайлы. Мысалы, 1Crl8Ni9Ti ыстыққа төзімді болатта иондық сәулемен тұндыру технологиясын қолдана отырып, 200 нм SiN жұқа пленкасын өсіру материалдың бетінде шаршау жарықтарының пайда болуын тежеп қана қоймай, сонымен қатар шаршау жарықтарының диффузия жылдамдығын айтарлықтай төмендетіп, қызмет ету мерзімін ұзартуға көмектеседі.
③ Иондық сәуле көмегімен тұндыру пленканың кернеу сипатын және оның кристалдық құрылымын өзгерте алады. Мысалы, субстрат бетіне 11,5 кэВ Xe+ немесе Ar+ бомбалау арқылы Cr пленкасын дайындау кезінде субстрат температурасын, бомбалау иондарының энергиясын, иондар мен атомдардың келу қатынасын және басқа параметрлерді реттеу кернеудің созылудан сығылу кернеуіне дейін өзгеруі мүмкін екендігі, пленканың кристалдық құрылымында да өзгерістер болатыны анықталды. Иондардың атомдарға белгілі бір қатынасында иондық сәуле көмегімен тұндыру термиялық бумен тұндыру арқылы тұндыру мембраналық қабатына қарағанда жақсы селективті бағдарға ие.
④ Иондық сәуле көмегімен тұндыру мембрананың коррозияға және тотығуға төзімділігін арттыра алады. Мембрана қабатының иондық сәуле көмегімен тұндыру тығыз болғандықтан, бөлшектер арасындағы түйіршік шекарасының жоғалуы мембрана негізінің интерфейс құрылымының жақсаруына немесе аморфты күйдің пайда болуына әкеледі, бұл материалдың коррозияға және тотығуға төзімділігінің артуына ықпал етеді.
Материалдың коррозияға төзімділігін арттырыңыз және жоғары температураның тотығу әсеріне қарсы тұрыңыз.
(5) Иондық сәуле көмегімен тұндыру пленканың электромагниттік қасиеттерін өзгертіп, оптикалық жұқа пленкалардың жұмысын жақсарта алады. (6) Иондық көмегімен тұндыру төмен температурада әртүрлі жұқа пленкалардың өсуіне мүмкіндік береді және жоғары температурада өңдеуден туындауы мүмкін материалдарға немесе дәл бөлшектерге жағымсыз әсерлерден аулақ болады, себебі атомдық тұндыру мен ион имплантациясына қатысты параметрлерді дәл және тәуелсіз реттеуге болады, ал құрамы тұрақты бірнеше микрометрлік жабындар төмен бомбалау энергияларында үздіксіз жасалуы мүмкін.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 7 наурыз