Tiknoolajiyadda Bixinta Ion Beam

① Tiknoolajiyada kaydinta ee ka caawisa shucaaca ion waxaa lagu gartaa isku dhejin xooggan oo u dhexeeya filimka iyo substrate-ka, lakabka filimku aad buu u xoog badan yahay. Tijaabooyinku waxay muujiyeen in: kaydinta ion-ka ee ka caawisa kaydinta ion-ka ee isku dhejinta marka loo eego isku dhejinta uumiga kulaylka ay korodhay dhowr jeer ilaa boqolaal jeer, sababtuna waxay inta badan sabab u tahay duqeynta ion-ka ee dusha sare ee saameynta nadiifinta, si isku xirka salka xuubka uu u sameeyo qaab-dhismeed is-dhexgal ah oo isku-dhafan, ama lakabka kala-guurka ee isku-dhafan, iyo sidoo kale in la yareeyo cadaadiska xuubka.

② Qalabka lagu caawiyo seeraha Ion wuxuu hagaajin karaa sifooyinka farsamada ee filimka, wuxuu kordhin karaa cimriga daalka, aad ayuu ugu habboon yahay diyaarinta oksaydhyada, carbide-yada, BN-yada cubic, TiB: iyo dahaarka dheemanka u eg. Tusaale ahaan, birta 1Crl8Ni9Ti ee u adkaysta kulaylka iyadoo la adeegsanayo tignoolajiyada dhigista ee ion-ka ee lagu caawiyo seeraha si loo koriyo 200nm SiN, filim khafiif ah, ma aha oo kaliya inuu hor istaagi karo soo bixitaanka dildilaaca daalka ee dusha sare ee maaddada, laakiin sidoo kale wuxuu si weyn u yareyn karaa heerka faafinta dillaaca daalka, si loo kordhiyo cimrigiisa wuxuu leeyahay door wanaagsan.

③ Kaydinta kaalmaynta shucaaca Ion waxay beddeli kartaa dabeecadda cadaadiska filimka iyo qaab-dhismeedkiisa kristalinta ayaa isbeddela. Tusaale ahaan, diyaarinta filimka Cr oo leh 11.5keV Xe + ama Ar + oo ah duqeynta dusha sare ee substrate-ka, ayaa lagu ogaaday in hagaajinta heerkulka substrate-ka, tamarta ion-ka bamgareynta, saamiga imaatinka ion iyo atamka iyo xuduudaha kale, ay ka dhigi karto cadaadiska laga bilaabo cadaadiska ilaa cadaadiska cadaadiska, qaab-dhismeedka kiristaalka ee filimku wuxuu sidoo kale soo saari doonaa isbeddello. Iyada oo la raacayo saamiga gaarka ah ee ion-ka ilaa atamka, dhigista kaalmaynta shucaaca ion-ka waxay leedahay jiho xulasho oo ka wanaagsan lakabka xuubka ee ay ku kaydiso dhigista uumiga kulaylka.

④ Kaydinta kaalmaynta birta Ion waxay kor u qaadi kartaa iska caabbinta daxalka iyo iska caabbinta oksaydhka ee xuubka. Maadaama dhigista birta Ion ee lakabka xuubka ay cufan tahay, hagaajinta qaab-dhismeedka isku-xirka salka xuubka ama sameynta xaalad aan qaab lahayn oo ay keento maqnaanshaha xadka hadhuudhka ee u dhexeeya walxaha, taas oo sahlaysa kor u qaadista iska caabbinta daxalka iyo iska caabbinta oksaydhka ee maaddada.

Kordhi iska caabbinta daxalka ee walaxda oo iska caabbi saamaynta oksaydhka ee heerkulka sare.

(5) Kaydinta kaalmaynta shucaaca Ion waxay beddeli kartaa sifooyinka elektromagnetic-ka ee filimka waxayna hagaajin kartaa waxqabadka filimada khafiifka ah ee indhaha. (6) Kaydinta kaalmaynta Ion waxay u oggolaanaysaa koritaanka filimada khafiifka ah ee kala duwan heerkul hooseeya waxayna ka fogaataa saamaynta xun ee walxaha ama qaybaha saxda ah ee ay sababi karto daawaynta heerkulka sare, maadaama xuduudaha la xiriira dhigista atomiga iyo beerista ion-ka si sax ah oo madax-bannaan loo hagaajin karo, dahaarka dhowr micrometers oo leh halabuurka joogtada ah ayaa si joogto ah loo soo saari karaa tamarta duqeynta hoose.