On Ion şöhlesine kömek edilen çökdürme tehnologiýasy, film bilen substratyň arasynda berk ýapyşmak bilen häsiýetlendirilýär, film gatlagy gaty güýçlidir. Synaglar subut etdi: ion şöhleleriniň ýylylyk bugynyň çökdürilmeginden has köp ýelmeşmegine kömek etdi, munuň sebäbi esasan arassalaýyş täsiriniň üstünde ion bombalanmagy, membrananyň esasy interfeýsi gradient interfeýs gurluşyny ýa-da gibrid geçiş gatlagyny emele getirmek, şeýle hem membrananyň stresini azaltmak bilen baglanyşyklydyr.
On Ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürmek, filmiň mehaniki aýratynlyklaryny gowulaşdyryp, oksidleri, karbidleri, kub BN, TiB we göwher ýaly örtükleri taýýarlamak üçin örän amatly ýadawlyk ömrüni uzaldyp biler. Mysal üçin, 1nrl8Ni9Ti ýylylyk çydamly polat, 200nm SiN, inçe film ösdürip ýetişdirmek üçin ion şöhlesine kömek edýän çökdürme tehnologiýasyny ulanmak bilen, materialyň üstünde ýadawlyk çatryklarynyň döremeginiň öňüni alyp bolman, eýsem ýadawlygyň ýaýramagynyň derejesini ep-esli azaldyp, ömrüni uzaltmak üçin gowy rol oýnaýar.
On Ion şöhlesiniň kömegi bilen filmiň stres häsiýetini üýtgedip biler we kristal gurluşy üýtgäp biler. Mysal üçin, 11.5keV Xe + ýa-da Ar + substratyň üstüni bombalamak bilen Cr filminiň taýýarlanylmagy, substratyň temperaturasynyň sazlanmagy, bombalanan ion energiýasy, ion we atomyň geliş gatnaşygy we beýleki parametrler stresiň dartyşdan gysyş stresine sebäp bolup biljekdigini, filmiň kristal gurluşynyň hem üýtgemegine sebäp boljakdygyny ýüze çykardy. Ionlaryň atomlara belli bir gatnaşygynda, ion şöhlesiniň kömegi bilen ýylylyk bugynyň goýulmagy bilen goýlan membrana gatlagyndan has gowy saýlama ugry bar.
On Ion şöhlesiniň kömegi bilen membrananyň poslama garşylygy we okislenme garşylygy ýokarlandyrylyp bilner. Membrananyň gatlagynyň ion şöhlesiniň kömegi bilen dykyzlygy sebäpli, membrananyň esasy interfeýs gurluşynyň gowulaşmagy ýa-da bölejikleriň arasynda däne araçäginiň ýitmegi netijesinde dörän amorf ýagdaýyň emele gelmegi, materialyň poslama garşylygyny we okislenme garşylygyny ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Materialyň poslama garşylygyny güýçlendiriň we ýokary temperaturanyň oksidleýji täsirine garşy duruň.
(5) Ion şöhlesiniň kömegi bilen filmiň elektromagnit aýratynlyklaryny üýtgedip we optiki inçe filmleriň işleýşini gowulandyryp biler. .
Iş wagty: Mart-07-2024