Ҳангоме ки чипҳо ва дастгоҳҳои электронӣ ба самти миниатюризатсия ва ҳамгироии баландтар таҳаввул меёбанд, истеҳсоли схемаҳо танҳо дар рӯи субстратҳои сафолӣ дигар наметавонад ба талаботи пайвастагии пайвастагӣ ва масирдиҳии рӯзафзун ҷавобгӯ бошад. Аз ин рӯ, микровияҳо барои пайваст кардани тарафҳои пеш ва қафои субстрат ба таври барқӣ заруранд, ки роҳҳои пайвастшавии пайвастаро кӯтоҳ мекунанд ва зичии схемаро зиёд мекунанд. Дар натиҷа, DPC (Миси рӯйпӯшшудаи мустақим) тавассути технологияи металлизатсия дар барномаҳо, аз ҷумла LED-ҳо, лазерҳо, алоқаи оптикӣ, дастгоҳҳои RF ва электроникаи барқӣ ба таври васеъ истифода шудааст.
Аммо, субстратҳои сафолӣ табиатан аз ҷиҳати барқӣ изолятсиякунанда мебошанд. Танҳо ташкил кардани микровияҳо тавассути субстрат пайвастагии барқро байни ду тараф таъмин намекунад. Мушкилии воқеӣ дар он аст, ки дар тӯли деворҳои дарунии микровияҳо як қабати тухмии металлии пайваста ва боэътимод ташкил карда шавад.
1. Чӣ тавр пайвастагии барқӣ тавассути микровияҳои керамикӣ муқаррар карда мешавад?
DPC тавассути металлизатсия одатан бо пармакунии лазерӣ оғоз мешавад, то микровияҳо дар зеризаминии сафолӣ, одатан дар шакли сӯрохиҳои конусшакл ё ростгузар, ташкил карда шаванд. Сипас, сатҳи микровияҳо ва субстрат пурра тоза ва дегаз карда мешаванд, то боқимондаҳои пармакунӣ, намӣ ва дигар ифлосҳоро тоза кунанд. Баъдан, раванди пошидани вакуумӣ барои гузоштани қабати часпакии Ti, ки одатан ғафсии 50-200 нм дорад ва баъдан қабати тухмии ноқили Cu, ки одатан ғафсии 0,5-2 мкм дорад, дар сатҳи зеризаминӣ ва дар баробари деворҳои дарунии микровияҳо истифода мешавад.
Қабати Ti ҳамчун қабати часпак барои беҳтар кардани мустаҳкамии пайванд байни плёнкаи металлӣ ва субстрати сафолӣ хизмат мекунад, дар ҳоле ки қабати тухмии Cu барои пӯшонидани минбаъда заминаи ноқили пайвастаро фароҳам меорад. Сипас, қабати мис бо роҳи пӯшонидани электролизӣ, одатан то ғафсии 5-20 мкм, минбаъд мустаҳкам карда мешавад ва дар ниҳоят пайвастагии боэътимоди электрикиро байни занҷирҳо дар тарафҳои пеш ва қафо тавассути гузаргоҳҳои металлӣ таъмин мекунад. Ба ибораи оддӣ, пошидани вакуумӣ заминаи ноқилро фароҳам меорад, дар ҳоле ки пӯшонидани электролизӣ ғафсии мисро зиёд мекунад ва бо ин васила муқовимати тавассути онро кам мекунад ва эътимоднокии пайвастшавиро беҳтар мекунад.
Гарчанде ки ин раванд содда ба назар мерасад, боэътимодӣ тавассути пайвастшавӣ аз як шарти муҳим вобаста аст: қабати тухмии Ti/Cu бояд сатҳи субстрат ва тамоми девори дарунии ҳар як микровияро пурра ва пайваста пӯшонад.
2. Чор мушкилоти асосии пошидани вакуумӣ барои қабатҳои тухмии Ti/Cu барои DPC Vias
Ташаккули қабати тухмии пайваста дар дохили микровиаҳои танг кори осон нест. Боқимондаҳои боқимонда дар дохили виаҳо метавонанд часпиши плёнкаро халалдор кунанд, дар ҳоле ки геометрияи микровиа пӯшиши деворҳои паҳлӯиро боз ҳам душвортар мекунад. Ноустувории маҳаллӣ дар қабати тухмӣ метавонад ба электроплитаи минбаъда халал расонад, дар ҳоле ки тафовут байни маконҳои гуногуни субстрат ва партияҳои истеҳсолӣ метавонанд ба устувории умумии раванд таъсир расонанд. Мушкилоти асосии пошидани вакуумӣ барои DPC тавассути металлизатсия метавонанд дар чор самт ҷамъбаст карда шаванд.
1. Боқимондаҳо дар дохили виасҳо метавонанд часпиши плёнкаро вайрон кунанд
Пас аз пармакунии лазерӣ, субстратҳои сафолӣ метавонанд зарраҳои сафолӣ, маводи аз нав рехташуда, партовҳои пармакунӣ ва нами адсорбсияшуда дар дохили микровияҳоро дар бар гиранд. Барои микровияҳо бо диаметрҳои хурд ва таносуби баланди тарафҳо, тоза кардани ин боқимондаҳо аксар вақт нисбат ба ифлосшавии сатҳӣ хеле душвортар аст. Агар тозакунӣ ва дегазатсия нокифоя бошанд, қабати часпакии Ti метавонад бо девори паҳлӯии сафолӣ пайванди мустаҳкам ва боэътимод эҷод накунад. Чунин камбудиҳо пас аз пӯшиш фавран намоён нашаванд, аммо метавонанд тадриҷан ҳангоми электроплиткунии минбаъда, кафшеркунӣ ё кори ҳарорати баланд ба пайдоиши пуфакчаҳо ва деламинатсия табдил ёбанд.
2. Таносубҳои баландтари паҳлӯӣ пӯшиши деворҳои паҳлӯиро душвортар мекунанд
Мушкилии пошидани микровияро танҳо бо умқи он арзёбӣ кардан мумкин нест; таносуби байни умқи тавассути ва диаметри тавассути ва - таносуби паҳлӯӣ - низ муҳим аст. Масалан, виа бо диаметри 60 мкм ва умқи 300 мкм таносуби паҳлӯӣ 5:1 дорад. Бо афзоиши таносуби паҳлӯӣ, вуруди виа сояи геометрии бештари зарраҳои пошидашударо ба вуҷуд меорад ва шумораи зарраҳоеро, ки метавонанд ба қисмати миёнаи девори паҳлӯӣ расанд, кам мекунад. Ин метавонад боиси пайдо шудани плёнкаҳои нисбатан ғафс дар сатҳи субстрат ва дар наздикии сӯрохии виа гардад, дар ҳоле ки қисмати миёнаи девори паҳлӯии виа хеле тунуктар ё ҳатто қатъшаванда мешавад.
3. Қабати нопурраи тухмӣ метавонад тавассути пайвастшавӣ боэътимодро пешгирӣ кунад
Талаботи асосии DPC тавассути металлизатсия на танҳо дар он аст, ки оё мис дар девори гузаранда мавҷуд аст, балки оё қабати тухмии Ti/Cu метавонад аз тарафи пеши субстрат, дар тамоми девори паҳлӯии гузаранда, ба тарафи қафо пайваста паҳн шавад. Ҳатто як нобаробарии хурд дар қабати тухмӣ метавонад роҳи гузаронандагии заруриро барои пӯшонидани минбаъдаи электроплитка халалдор кунад. Аз ин рӯ, сифати қабати тухмиро танҳо аз рӯи намуди зоҳирӣ ё ғафсии миёнаи плёнка арзёбӣ кардан мумкин нест. Таваҷҷӯҳи махсус бояд ба тунуктарин қисмати девори паҳлӯии гузаранда ва нигоҳ доштани гузаронандагии доимии барқ дар тамоми роҳи металлизатсияшуда равона карда шавад.
4. Гузаронидани як намуна устувории аз як гурӯҳ ба як гурӯҳро кафолат намедиҳад
Ба даст овардани ғафсии зарурии плёнкаи рӯизаминӣ дар як намуна маънои онро надорад, ки раванд барои истеҳсоли оммавӣ омода аст. Истеҳсоли DPC инчунин назорати қатъии якхелагии рӯйпӯшро байни сатҳҳои пеш ва қафо, байни минтақаҳои марказӣ ва канории субстрат, дар мавқеъҳои гуногуни васлкунӣ ва аз як партия ба партия талаб мекунад. Барои субстратҳои сафолӣ, ки шумораи зиёди микровиаҳоро дар бар мегиранд, арзёбии раванд набояд танҳо ба ғафсии миёнаи плёнка тамаркуз кунад. Муҳимтар аз ҳама, минтақаи тунуктарини девори паҳлӯии гузаранда бояд пайваста гузаронандагии барқии заруриро барои пӯшонидани минбаъдаи электроплит нигоҳ дорад.
3. Вақте ки қабати тухмӣ дуруст гузошта намешавад, чӣ мешавад?
Қабати тухмии Ti/Cu асоси ноқилро барои пӯшонидани минбаъдаи электроплит таъмин мекунад. Агар қабати тухмӣ дар девори паҳлӯии гузаранда хеле тунук бошад, пурра пӯшонида нашуда бошад ё нопайвастагӣ дошта бошад, ҷараёни электроплит наметавонад пайваста дар тӯли девори паҳлӯӣ интиқол дода шавад ва ионҳои мисро дуруст кам кардан ва дар ҷойҳои ноқис гузоштан мумкин нест. Ҳангоми идома ёфтани пӯшонидани электроплит ва ҷамъ шудани қабати мис, дар аввал минтақаҳои ночизи пӯшонидани нокифоя метавонанд ба холигии қабати мис, норасоии ғафсии маҳаллӣ ё пӯшонидани нопайваста дар дохили гузаранда табдил ёбанд.
Ин камбудиҳо мустақиман ба сифати пайвастшавии занҷирҳо дар паҳлӯҳои пеш ва қафои таҳкурсии сафолӣ таъсир мерасонанд. Дар ҳолатҳои камтар ҷиддӣ, онҳо метавонанд тавассути муқовимат, тавлиди гармии маҳаллӣ ва ноустуворӣ дар кори электрикӣ афзоиш ёбанд. Дар ҳолатҳои ҷиддитар, занҷирҳои ҳарду тараф метавонанд ба пайвастагии электрикӣ ноил нашаванд. Ҳангоми кафшери минбаъда, пиршавии ҳарорати баланд ё даври гармӣ, минтақаҳои ноқис метавонанд минбаъд обилашавӣ, деламинатсия ё кафидани занҷирро инкишоф диҳанд, ки ҳосилнокии маҳсулот ва эътимоднокии дарозмуддатро коҳиш медиҳад ва эҳтимолан боиси вайрон шудани дастгоҳ мегардад.
4. Ҳалли истеҳсоли оммавии вакуумии Zhenhua барои таҳкурсии сафолӣ тавассути металлизатсия — Хатти истеҳсоли рӯйпӯши вакуумии таҳкурсии сафолии DPC
Бартариятҳои таҷҳизот:
Автоматизатсия: Системаи пурра автоматикунонидашудаи интиқоли рӯйпӯш ва масолеҳи корӣ ба интиқолдиҳанда дахолати дастиро кам мекунад ва ҳамзамон самаранокии истеҳсолотро беҳтар мекунад ва вақти умумии давраро кӯтоҳ мекунад.
Иқтидори интиқол: Таҳкурсӣҳои 120 мм × 120 мм-ро бо иқтидори истеҳсолии то 288 дона дар як соат дастгирӣ мекунад.
Иҷро: Ноқилияти барқро беҳтар мекунад ва ҳамзамон самаранокии паҳншавии гармии субстрати керамикиро беҳтар мекунад.
Тавассути металлизатсия: Конфигуратсияи оптимизатсияшудаи майдони магнитӣ имкон медиҳад, ки пӯшиши самаранок ва якхела дар дохили микровияҳо таъмин карда шавад.
Раванд: Пӯшиши дуҷонибаро дастгирӣ мекунад, то якрангии умумии ғафсии филм ва мувофиқати рӯйпӯшро беҳтар созад.
Барномаҳо:
Таҷҳизот метавонад як қатор плёнкаҳои металлии элементӣ, аз ҷумла Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag ва Ni-ро ҷойгир кунад ва дар саноати нимноқилҳо ва ҷузъҳои электронӣ барои барномаҳо ба монанди субстратҳои сафолӣ, конденсаторҳои сафолӣ ва бастаҳо/таянгоҳҳои сафолии LED васеъ истифода мешавад.
5. Хулоса
Ширкати Zhenhua Vacuum ба раванди пошидани вакуумии пеш барои истеҳсоли DPC тамаркуз мекунад. Бо беҳтар кардани пӯшиши девори паҳлӯии микровия ва якҷоя кардани технологияи рӯйпӯшкунии дутарафа бо истеҳсоли автоматӣ, ин ҳалли масъала қабатҳои устувори тухмии Ti/Cu-ро барои электроплиткунии минбаъда ва боэътимод тавассути пайвастшавӣ таъмин мекунад. Ин ба муштариён кӯмак мекунад, ки истеҳсоли оммавии мунтазамро таъмин кунанд ва дар айни замон қабули васеътари субстратҳои сафолии DPC-ро дар барномаҳои нимноқилӣ ва пешрафтаи электронӣ дастгирӣ кунанд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст истеҳсолкунандаи таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣЧангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 27 августи соли 2026