ដោយសារបន្ទះឈីប និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចបន្តវិវត្តឆ្ពោះទៅរកការបង្រួមទំហំ និងការរួមបញ្ចូលកម្រិតខ្ពស់ ការផលិតសៀគ្វីតែលើផ្ទៃនៃស្រទាប់សេរ៉ាមិចលែងអាចបំពេញតម្រូវការតភ្ជាប់ និងកំណត់ផ្លូវដែលកាន់តែមានតម្រូវការខ្លាំងឡើងៗទៀតហើយ។ ដូច្នេះ Microvias ត្រូវបានទាមទារដើម្បីភ្ជាប់ផ្នែកខាងមុខ និងខាងក្រោយនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយអគ្គិសនី ដែលកាត់បន្ថយផ្លូវតភ្ជាប់ និងបង្កើនដង់ស៊ីតេសៀគ្វី។ ជាលទ្ធផល បច្ចេកវិទ្យា DPC (ទង់ដែងស្រោបដោយផ្ទាល់) តាមរយៈលោហធាតុត្រូវបានអនុម័តយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីនានា រួមទាំង LEDs ឡាស៊ែរ ការទំនាក់ទំនងអុបទិក ឧបករណ៍ RF និងអេឡិចត្រូនិចថាមពល។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចមានលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដោយធម្មជាតិ។ ការបង្កើតមីក្រូវ៉ាសតាមរយៈស្រទាប់ខាងក្រោមមិនបង្កើតភាពបន្តចរន្តអគ្គិសនីរវាងភាគីទាំងពីរនោះទេ។ បញ្ហាប្រឈមពិតប្រាកដគឺការបង្កើតស្រទាប់គ្រាប់ពូជលោហធាតុដែលបន្ត និងអាចទុកចិត្តបានតាមបណ្តោយជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃមីក្រូវ៉ាស។
1. តើការបន្តចរន្តអគ្គិសនីត្រូវបានបង្កើតឡើងតាមរយៈមីក្រូវីយ៉ាសេរ៉ាមិចយ៉ាងដូចម្តេច?
ជាធម្មតា DPC តាមរយៈការរលាយលោហៈចាប់ផ្តើមដោយការខួងឡាស៊ែរដើម្បីបង្កើតជាមីក្រូវ៉ាសនៅក្នុងស្រទាប់សេរ៉ាមិច ជាទូទៅក្នុងទម្រង់ជារន្ធរាងជ្រុង ឬរន្ធត្រង់។ បន្ទាប់មក មីក្រូវ៉ាស និងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានសម្អាត និងបន្សាបឧស្ម័នយ៉ាងហ្មត់ចត់ ដើម្បីយកសំណល់ខួង សំណើម និងសារធាតុកខ្វក់ផ្សេងទៀតចេញ។ ដំណើរការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីត្រូវបានប្រើជាបន្តបន្ទាប់ ដើម្បីដាក់ស្រទាប់ស្អិត Ti ជាធម្មតាមានកម្រាស់ 50–200 nm បន្ទាប់មកដោយស្រទាប់គ្រាប់ពូជដែលដឹកនាំដោយ Cu ជាធម្មតាមានកម្រាស់ 0.5–2 μm នៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងតាមបណ្តោយជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃមីក្រូវ៉ាស។
ស្រទាប់ Ti បម្រើជាស្រទាប់ស្អិតដើម្បីបង្កើនកម្លាំងភ្ជាប់រវាងខ្សែភាពយន្តលោហៈ និងស្រទាប់សេរ៉ាមិច ខណៈពេលដែលស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Cu ផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលដឹកនាំជាបន្តបន្ទាប់សម្រាប់ការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់។ បន្ទាប់មកស្រទាប់ទង់ដែងត្រូវបានបង្កើតឡើងបន្ថែមទៀតដោយការស្រោបដោយអគ្គិសនី ជាធម្មតាមានកម្រាស់ 5–20 μm ដែលនៅទីបំផុតបង្កើតភាពបន្តអគ្គិសនីដែលអាចទុកចិត្តបានរវាងសៀគ្វីនៅផ្នែកខាងមុខ និងខាងក្រោយតាមរយៈច្រកលោហៈ។ និយាយឱ្យសាមញ្ញ ការបាញ់ថ្នាំក្នុងសុញ្ញកាសផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលដឹកនាំ ខណៈពេលដែលការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់បង្កើតកម្រាស់ទង់ដែង ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយភាពធន់នៃច្រក និងបង្កើនភាពជឿជាក់នៃការតភ្ជាប់។
ទោះបីជាដំណើរការនេះហាក់ដូចជាសាមញ្ញក៏ដោយ ភាពជឿជាក់តាមរយៈការភ្ជាប់គ្នាអាស្រ័យទៅលើតម្រូវការជាមុនដ៏សំខាន់មួយ៖ ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Ti/Cu ត្រូវតែគ្របដណ្តប់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងជញ្ជាំងខាងក្នុងទាំងមូលនៃមីក្រូវីយ៉ានីមួយៗទាំងស្រុង និងជាបន្តបន្ទាប់។
2. បញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗចំនួនបួននៃការបាញ់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Ti/Cu ក្នុងសុញ្ញកាសសម្រាប់ DPC Vias
ការបង្កើតស្រទាប់គ្រាប់ពូជជាបន្តបន្ទាប់នៅខាងក្នុងមីក្រូវីយ៉ាតូចចង្អៀតមិនមែនជារឿងងាយស្រួលនោះទេ។ សំណល់ដែលនៅសេសសល់នៅខាងក្នុងវីសអាចធ្វើឱ្យខូចដល់ភាពស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្ត ខណៈពេលដែលធរណីមាត្រមីក្រូវីយ៉ាធ្វើឱ្យការគ្របដណ្តប់ជញ្ជាំងចំហៀងកាន់តែពិបាក។ ភាពមិនជាប់គ្នាក្នុងតំបន់នៅក្នុងស្រទាប់គ្រាប់ពូជអាចរំខានដល់ការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់ ខណៈពេលដែលភាពខុសគ្នារវាងទីតាំងស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងៗគ្នា និងបាច់ផលិតកម្មអាចប៉ះពាល់ដល់ស្ថេរភាពដំណើរការទាំងមូល។ បញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗនៃការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីសម្រាប់ DPC តាមរយៈលោហធាតុអាចត្រូវបានសង្ខេបជាបួនផ្នែក។
១. សំណល់នៅខាងក្នុង Vias អាចធ្វើឱ្យខូចដល់ភាពស្អិតរបស់ខ្សែភាពយន្ត
បន្ទាប់ពីការខួងឡាស៊ែរ ស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិចអាចមានផ្ទុកភាគល្អិតសេរ៉ាមិច សម្ភារៈកែច្នៃឡើងវិញ កំទេចកំទីខួង និងសំណើមដែលស្រូបយកនៅខាងក្នុងមីក្រូវីយ៉ា។ ចំពោះមីក្រូវីយ៉ាដែលមានអង្កត់ផ្ចិតតូច និងសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ សំណល់ទាំងនេះច្រើនតែពិបាកដកចេញជាងការបំពុលលើផ្ទៃ។ ប្រសិនបើការសម្អាត និងការបន្សាបឧស្ម័នមិនគ្រប់គ្រាន់ ស្រទាប់ស្អិត Ti អាចនឹងមិនបង្កើតជាចំណងដ៏រឹងមាំ និងអាចទុកចិត្តបានជាមួយនឹងជញ្ជាំងចំហៀងសេរ៉ាមិចទេ។ ពិការភាពបែបនេះអាចនឹងមិនលេចឡើងភ្លាមៗបន្ទាប់ពីការលាបថ្នាំកូតទេ ប៉ុន្តែអាចវិវត្តបន្តិចម្តងៗទៅជាពងបែក និងរបកចេញក្នុងអំឡុងពេលអេឡិចត្រូផ្លាទីង ការផ្សារ ឬប្រតិបត្តិការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាបន្តបន្ទាប់។
2. សមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ធ្វើឱ្យការគ្របដណ្ដប់ជញ្ជាំងចំហៀងកាន់តែពិបាក
ការលំបាកនៃការបាញ់ថ្នាំរបស់មីក្រូវីយ៉ាមិនអាចវាយតម្លៃបានតែដោយជម្រៅរបស់វាទេ។ សមាមាត្ររវាងជម្រៅនៃវីយ៉ា និងអង្កត់ផ្ចិតវីយ៉ា — សមាមាត្រទិដ្ឋភាព — គឺមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នា។ ឧទាហរណ៍ វីយ៉ាដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 60 μm និងជម្រៅ 300 μm មានសមាមាត្រទិដ្ឋភាព 5:1។ នៅពេលដែលសមាមាត្រទិដ្ឋភាពកើនឡើង ច្រកចូលវីយ៉ាបង្កើតស្រមោលធរណីមាត្រកាន់តែច្រើននៃភាគល្អិតដែលបាញ់ថ្នាំ ដែលកាត់បន្ថយចំនួនភាគល្អិតដែលអាចទៅដល់ផ្នែកកណ្តាលនៃជញ្ជាំងចំហៀង។ នេះអាចបណ្តាលឱ្យមានខ្សែភាពយន្តក្រាស់ៗនៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងនៅជិតការបើកវីយ៉ា ខណៈពេលដែលផ្នែកកណ្តាលនៃជញ្ជាំងចំហៀងវីយ៉ាកាន់តែស្តើង ឬមិនជាប់គ្នា។
៣. ស្រទាប់គ្រាប់ពូជមិនពេញលេញអាចរារាំងការតភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបានតាមរយៈអន្តរទំនាក់ទំនង
តម្រូវការជាមូលដ្ឋានរបស់ DPC តាមរយៈលោហធាតុមិនមែនគ្រាន់តែថាតើទង់ដែងមានវត្តមាននៅលើជញ្ជាំងឆ្លងកាត់ឬអត់នោះទេ ប៉ុន្តែថាតើស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Ti/Cu អាចលាតសន្ធឹងជាបន្តបន្ទាប់ពីផ្នែកខាងមុខនៃស្រទាប់ខាងក្រោម តាមបណ្តោយជញ្ជាំងឆ្លងកាត់ទាំងមូល ទៅផ្នែកខាងក្រោយឬអត់។ សូម្បីតែភាពមិនជាប់គ្នាតិចតួចនៅក្នុងស្រទាប់គ្រាប់ពូជក៏អាចរំខានដល់ផ្លូវដែលដឹកនាំដែលត្រូវការសម្រាប់ការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់បានដែរ។ ដូច្នេះ គុណភាពស្រទាប់គ្រាប់ពូជមិនអាចវាយតម្លៃបានតែដោយរូបរាងផ្ទៃ ឬកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តជាមធ្យមនោះទេ។ ការយកចិត្តទុកដាក់ជាពិសេសត្រូវតែយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះផ្នែកស្តើងបំផុតនៃជញ្ជាំងឆ្លងកាត់ និងថាតើចរន្តអគ្គិសនីបន្តត្រូវបានរក្សាពេញមួយផ្លូវដែលធ្វើលោហធាតុឬអត់។
៤. ការឆ្លងកាត់គំរូតែមួយមិនធានានូវស្ថេរភាពពីមួយបាច់ទៅមួយបាច់នោះទេ
ការសម្រេចបានកម្រាស់ស្រទាប់ផ្ទៃដែលត្រូវការលើគំរូតែមួយមិនចាំបាច់មានន័យថាដំណើរការនេះរួចរាល់សម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំនោះទេ។ ការផលិត DPC ក៏តម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៃឯកសណ្ឋានថ្នាំកូតរវាងផ្នែកខាងមុខ និងខាងក្រោយ រវាងតំបន់កណ្តាល និងគែមនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឆ្លងកាត់ទីតាំងគ្រឿងបរិក្ខារផ្សេងៗគ្នា និងពីបាច់មួយទៅបាច់មួយ។ សម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិចដែលមានមីក្រូវ៉ាយមួយចំនួនធំ ការវាយតម្លៃដំណើរការមិនគួរផ្តោតតែលើកម្រាស់ស្រទាប់ជាមធ្យមនោះទេ។ អ្វីដែលសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត តំបន់ស្តើងបំផុតនៃជញ្ជាំងចំហៀងនៃផ្លូវត្រូវតែរក្សាចរន្តអគ្គិសនីដែលត្រូវការសម្រាប់ការស្រោបអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់ជាប់លាប់។
៣. តើមានអ្វីកើតឡើងនៅពេលដែលស្រទាប់គ្រាប់ពូជមិនត្រូវបានចាក់ដីឱ្យបានត្រឹមត្រូវ?
ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Ti/Cu ផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលដឹកនាំបានដែលត្រូវការសម្រាប់ការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់។ ប្រសិនបើស្រទាប់គ្រាប់ពូជនៅលើជញ្ជាំងចំហៀងនៃខ្សែបញ្ជូនគឺស្តើងពេក គ្របដណ្តប់មិនពេញលេញ ឬមានភាពមិនបន្ត ចរន្តស្រោបដោយអគ្គិសនីមិនអាចផ្ទេរជាបន្តបន្ទាប់តាមបណ្តោយជញ្ជាំងចំហៀងបានទេ ហើយអ៊ីយ៉ុងទង់ដែងមិនអាចកាត់បន្ថយ និងដាក់បានត្រឹមត្រូវនៅទីតាំងដែលមានបញ្ហានោះទេ។ នៅពេលដែលការស្រោបដោយអគ្គិសនីបន្ត ហើយស្រទាប់ទង់ដែងកើនឡើង ដំបូងឡើយ តំបន់តូចៗដែលគ្របដណ្តប់មិនគ្រប់គ្រាន់អាចវិវត្តទៅជាចន្លោះប្រហោងស្រទាប់ទង់ដែង កង្វះកម្រាស់ក្នុងតំបន់ ឬការស្រោបដោយអគ្គិសនីមិនបន្តនៅក្នុងខ្សែបញ្ជូន។
ពិការភាពទាំងនេះប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាពនៃការតភ្ជាប់សៀគ្វីនៅផ្នែកខាងមុខ និងខាងក្រោយនៃស្រទាប់សេរ៉ាមិច។ ក្នុងករណីដែលមិនសូវធ្ងន់ធ្ងរ វាអាចបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងនៃភាពធន់ទ្រាំ ការបង្កើតកំដៅក្នុងតំបន់ និងការប្រែប្រួលនៃដំណើរការអគ្គិសនី។ ក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរជាងនេះ សៀគ្វីនៅសងខាងអាចបរាជ័យក្នុងការសម្រេចបាននូវភាពបន្តចរន្តអគ្គិសនី។ ក្នុងអំឡុងពេលផ្សារជាបន្តបន្ទាប់ ភាពចាស់នៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឬវដ្តកម្ដៅ តំបន់ដែលមានបញ្ហាអាចវិវត្តទៅជាពងបែក ការបែក ឬប្រេះសៀគ្វី ដែលកាត់បន្ថយទិន្នផលផលិតផល និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង និងអាចបណ្តាលឱ្យឧបករណ៍បរាជ័យ។
៤. ដំណោះស្រាយផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំរបស់ក្រុមហ៊ុន Zhenhua Vacuum សម្រាប់ស្រទាប់សេរ៉ាមិចតាមរយៈការធ្វើលោហធាតុ — ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មថ្នាំកូតស្រទាប់សេរ៉ាមិច DPC
គុណសម្បត្តិឧបករណ៍៖
ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម៖ ប្រព័ន្ធថ្នាំកូត និងប្រព័ន្ធផ្ទេរសម្ភារៈការងារ-ឧបករណ៍ផ្ទុក ដែលដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ កាត់បន្ថយអន្តរាគមន៍ដោយដៃ ខណៈពេលដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងកាត់បន្ថយពេលវេលាវដ្តទាំងមូល។
ទិន្នផល៖ គាំទ្រដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម 120 mm × 120 mm ដែលមានសមត្ថភាពផលិតរហូតដល់ 288 ដុំក្នុងមួយម៉ោង។
ការអនុវត្ត៖ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវចរន្តអគ្គិសនី ខណៈពេលដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការរលាយកំដៅនៃស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិច។
តាមរយៈការលោហៈ៖ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធដែនម៉ាញេទិកដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងអាចឱ្យមានការគ្របដណ្តប់ថ្នាំកូតប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងឯកសណ្ឋាននៅក្នុងមីក្រូវីស។
ដំណើរការ៖ គាំទ្រដល់ថ្នាំកូតទ្វេភាគី ដើម្បីបង្កើនឯកសណ្ឋានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តទាំងមូល និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃថ្នាំកូត។
កម្មវិធី៖
ឧបករណ៍នេះអាចដាក់ស្រទាប់លោហៈធាតុជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំង Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag និង Ni ហើយត្រូវបានគេអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងគ្រឿងបន្លាស់អេឡិចត្រូនិចសម្រាប់កម្មវិធីដូចជាស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិច ឧបករណ៍ផ្ទុកសេរ៉ាមិច និងកញ្ចប់/ទ្រសេរ៉ាមិច LED។
៥. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ក្រុមហ៊ុន Zhenhua Vacuum ផ្តោតលើដំណើរការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីផ្នែកខាងមុខសម្រាប់ការផលិត DPC។ តាមរយៈការបង្កើនការគ្របដណ្តប់ជញ្ជាំងចំហៀងមីក្រូវីយ៉ា និងការរួមបញ្ចូលគ្នានូវបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតទ្វេភាគីជាមួយនឹងការផលិតដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដំណោះស្រាយនេះផ្តល់នូវស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Ti/Cu ដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ការស្រោបដោយអគ្គិសនីជាបន្តបន្ទាប់ និងអាចទុកចិត្តបានតាមរយៈការភ្ជាប់គ្នា។ នេះជួយអតិថិជនឱ្យសម្រេចបាននូវផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ខណៈពេលដែលគាំទ្រដល់ការអនុម័តយ៉ាងទូលំទូលាយនៃស្រទាប់សេរ៉ាមិច DPC នៅក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចទំនើប និងស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៧ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៦