நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, குறைக்கடத்தியின் வரையறை என்னவென்றால், அது உலர்ந்த கடத்திகள் மற்றும் மின்கடத்திகளுக்கு இடையில் ஒரு கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, உலோகம் மற்றும் மின்கடத்திக்கு இடையிலான எதிர்ப்புத் திறன், இது பொதுவாக அறை வெப்பநிலையில் 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm வரம்பிற்குள் இருக்கும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், முக்கிய குறைக்கடத்தி நிறுவனங்களில் வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு, அதன் நிலை அதிகரித்து வருவது தெளிவாகிறது, குறிப்பாக சில பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த அமைப்பு சுற்று மேம்பாட்டு தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி முறைகளில் காந்தமின்னியல் மாற்ற சாதனங்கள், ஒளி-உமிழும் சாதனங்கள் மற்றும் பிற மேம்பாட்டுப் பணிகளில். வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு ஒரு முக்கிய பங்கைக் கொண்டுள்ளது.
குறைக்கடத்திகள் அவற்றின் உள்ளார்ந்த பண்புகள், வெப்பநிலை மற்றும் அசுத்த செறிவு ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு பொருட்கள் ஒன்றுக்கொன்று முக்கியமாக அதன் கூறு சேர்மங்களால் வேறுபடுகின்றன. தோராயமாக அனைத்தும் போரான், கார்பன், சிலிக்கான், ஜெர்மானியம், ஆர்சனிக், ஆண்டிமனி, டெல்லூரியம், அயோடின் போன்றவற்றை அடிப்படையாகக் கொண்டவை, மேலும் சில ஒப்பீட்டளவில் சில GaP, GaAs, lnSb போன்றவற்றை அடிப்படையாகக் கொண்டவை. FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, போன்ற சில ஆக்சைடு குறைக்கடத்திகளும் உள்ளன.
வெற்றிட ஆவியாதல், தெளித்தல் பூச்சு, அயன் பூச்சு மற்றும் பிற உபகரணங்கள் வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு செய்ய முடியும். இந்த பூச்சு உபகரணங்கள் அனைத்தும் அவற்றின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையில் வேறுபட்டவை, ஆனால் அவை அனைத்தும் குறைக்கடத்தி பொருள் பூச்சுப் பொருளை அடி மூலக்கூறில் வைப்பதாக ஆக்குகின்றன, மேலும் அடி மூலக்கூறின் பொருளாக, அது குறைக்கடத்தியாக இருக்கலாம் அல்லது இல்லாமல் இருக்கலாம் என்ற தேவை இல்லை. கூடுதலாக, வெவ்வேறு மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளைக் கொண்ட பூச்சுகளை ஒரு வரம்பில் குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் தூய்மையற்ற பரவல் மற்றும் அயனி பொருத்துதல் ஆகிய இரண்டின் மூலமும் தயாரிக்கலாம். இதன் விளைவாக வரும் மெல்லிய அடுக்கை பொதுவாக ஒரு குறைக்கடத்தி பூச்சாகவும் செயலாக்க முடியும்.
வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு என்பது செயலில் அல்லது செயலற்ற சாதனங்களுக்கு மின்னணுவியலில் இன்றியமையாத இருப்பாகும். வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், பட செயல்திறனின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு சாத்தியமாகியுள்ளது.
சமீபத்திய ஆண்டுகளில், ஒளிக்கடத்தி சாதனங்கள், பூசப்பட்ட புல-விளைவு குழாய்கள் மற்றும் உயர்-செயல்திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்கள் தயாரிப்பில் உருவமற்ற பூச்சு மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் பூச்சு விரைவான முன்னேற்றத்தை அடைந்துள்ளன. கூடுதலாக, வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு மற்றும் சென்சார்களின் மெல்லிய படலத்தின் வளர்ச்சி காரணமாக, இது பொருள் தேர்வின் சிரமத்தை கணிசமாகக் குறைத்து உற்பத்தி செயல்முறையை படிப்படியாக எளிமைப்படுத்துகிறது. வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு உபகரணங்கள் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு அவசியமான இருப்பாக மாறியுள்ளது. கேமரா சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள், பூசப்பட்ட டிரான்சிஸ்டர்கள், புல உமிழ்வு, கேத்தோடு-ஒளி, எலக்ட்ரான் உமிழ்வு, மெல்லிய படல உணர்திறன் கூறுகள் போன்றவற்றின் குறைக்கடத்தி பூச்சுக்கு இந்த உபகரணங்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு வரி முழுமையான தானியங்கி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, வசதியான மற்றும் உள்ளுணர்வு தொடுதிரை மனித-இயந்திர இடைமுகத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. முழு உற்பத்தி வரி கூறுகளுக்கான செயல்பாட்டு நிலை, செயல்முறை அளவுரு அமைப்பு, செயல்பாட்டு பாதுகாப்பு மற்றும் எச்சரிக்கை செயல்பாடுகளை முழுமையாகக் கண்காணிக்கும் வகையில் இந்த வரி முழுமையான செயல்பாட்டு மெனுவுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. முழு மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பும் பாதுகாப்பானது, நம்பகமானது மற்றும் நிலையானது. மேல் மற்றும் கீழ் இரட்டை பக்க மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு அல்லது ஒற்றை பக்க பூச்சு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது.
இந்த உபகரணங்கள் முக்கியமாக பீங்கான் சர்க்யூட் பலகைகள், சிப் உயர் மின்னழுத்த மின்தேக்கிகள் மற்றும் பிற அடி மூலக்கூறு பூச்சுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள் மின்னணு சர்க்யூட் பலகைகள் ஆகும்.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-07-2022