Vacuum ion plating (ion plating for short) ke theknoloji e ncha ea kalafo ea holim'a metsi e ntlafalitsoeng ka potlako lilemong tsa bo-1970, e hlahisitsoeng ke DM Mattox oa Somdia Company United States ka 1963. E bua ka mokhoa oa ho sebelisa mohloli oa mouoane kapa sepheo sa sputtering ho etsa mouoane kapa ho fafatsa sepakapaka sa filimi sebakeng sa vacuum.
Ea pele ke ho hlahisa mouoane oa tšepe ka ho futhumatsa le ho etsa mouoane oa thepa ea filimi, e leng karolo ea ionized ka mouoane oa tšepe le liathomo tse sa nke lehlakore ka matla sebakeng sa plasma sa khase, 'me e fihla substrate ho theha filimi ka ketso ea tšimo ea motlakase; ea morao-rao e sebelisa li-ion tse nang le matla a phahameng ( Ka mohlala, Ar +) libomo holim'a thepa ea filimi e le hore likaroloana tse sputtered li ionized ka li-ion kapa liathomo tse sa nke lehlakore tse nang le matla a phahameng ka sebaka sa ho tsoa ha khase, 'me li hlokomele bokaholimo ba substrate ho theha filimi.
Sengoliloeng sena se hatisitsoe ke Guangdong Zhenhua, moetsi oalisebelisoa tsa ho roala ka vacuum
Nako ea poso: Mar-10-2023