Krahasuar me veshjen me avullim dhe veshjen me spërkatje, karakteristika më e rëndësishme e veshjes me jone është se jonet energjike bombardojnë substratin dhe shtresën e filmit ndërsa ndodh depozitimi. Bombardimi i joneve të ngarkuara prodhon një sërë efektesh, kryesisht si më poshtë.
① Forca e lidhjes membranë/bazë (ngjitja) është e fortë, shtresa e filmit nuk bie lehtë për shkak të bombardimit jonik të substratit të gjeneruar nga efekti i spërkatjes, në mënyrë që substrati të pastrohet, aktivizohet dhe nxehet, jo vetëm për të hequr adsorbimin e gazit në sipërfaqen e substratit dhe shtresën e kontaminuar, por edhe për të hequr oksidet sipërfaqësore të substratit. Ngrohja dhe defektet e bombardimit jonik mund të shkaktohen nga efekti i zgjeruar i difuzionit të substratit, si për të përmirësuar vetitë kristalore të organizimit të shtresës sipërfaqësore të substratit, ashtu edhe për të siguruar kushtet për formimin e fazave të aliazhit; dhe bombardimi jonik me energji më të lartë, por gjithashtu prodhon një sasi të caktuar të implantimit jonik dhe efektit të përzierjes së rrezes jonike.
② Veshje jonik për shkak se prodhon rrezatim anashkalues të mirë në rastin e presionit më të lartë (më të madh ose të barabartë me 1Pa) është se jonet ose molekulat e avullit të jonizuar në udhëtimin e tyre drejt substratit para se molekulat e gazit të hasin një numër përplasjesh, kështu që grimcat e filmit mund të shpërndahen rreth substratit, duke përmirësuar kështu mbulimin e shtresës së filmit; dhe grimcat e filmit të jonizuar gjithashtu do të depozitohen nën veprimin e fushës elektrike në sipërfaqen e substratit me tension negativ. Çdo pozicion në sipërfaqen e substratit me tension negativ nuk mund të arrihet me anë të veshjes me avullim.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 12 janar 2024