Vacuum ion plating (ion plating mo pupuu) o se tekinolosi togafitiga fou luga lea ua atiina ae vave i le 1970s, lea na fuafuaina e DM Mattox o Somdia Kamupani i le Iunaite Setete i le Iunaite Setete i le 1963. E faasino i le faagasologa o le faaaogaina o puna evaporation po o sputtering taulaiga e evaporate pe sputter mea ata tifaga i le siosiomaga gaogao.
O le mea muamua o le gaosia o le ausa uʻamea e ala i le faʻavevelaina ma le faʻafefeina o mea ata tifaga, lea o loʻo faʻapipiʻiina i totonu o le ausa uʻamea ma le maualuga o le malosi o atoms i le vaʻa o le plasma kesi, ma oʻo atu i le substrate e fausia ai se ata e ala i le gaioiga o le eletise eletise; o le mulimuli e faʻaaogaina ions maualuga-malosi (Mo se faʻataʻitaʻiga, Ar +) bombards luga o le mea ata tifaga ina ia sputtered particles ua ionized i ions po o atoms le faaituau maualuga-malosi e ala i le avanoa o le lafoaia kesi, ma iloa le i luga o le substrate e fausia ai se ata tifaga.
O lenei tusiga ua lomia e Guangdong Zhenhua, o se gaosiga omasini fa'apipi'i gaogao
Taimi meli: Mati-10-2023