Kot vsi vemo, je definicija polprevodnika prevodnost med suhimi prevodniki in izolatorji ter upornost med kovino in izolatorjem, ki je pri sobni temperaturi običajno v območju 1 mΩ-cm ~ 1 GΩ-cm. V zadnjih letih je status vakuumskega polprevodniškega premaza v velikih polprevodniških podjetjih vse bolj visok, zlasti pri nekaterih obsežnih raziskovalnih metodah za razvoj integriranih sistemskih vezij, magnetoelektričnih pretvorniških naprav, naprav za oddajanje svetlobe in drugih razvojnih delih. Vakuumski polprevodniški premaz ima pomembno vlogo.
Polprevodnike zaznamujejo njihove intrinzične lastnosti, temperatura in koncentracija nečistoč. Vakuumski polprevodniški premazni materiali se med seboj razlikujejo predvsem po svojih sestavnih spojinah. Približno vsi temeljijo na boru, ogljiku, siliciju, germaniju, arzenu, antimonu, telurju, jodu itd., nekateri pa so relativno redki na GaP, GaAs, InkSb itd. Obstajajo tudi nekateri oksidni polprevodniki, kot so FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O itd.
Vakuumsko nanašanje polprevodniških premazov se lahko izvaja z vakuumskim izhlapevanjem, naprševanjem, ionskim nanašanjem in drugo opremo. Vse te opreme za nanašanje premazov se razlikujejo po principu delovanja, vendar vse nanesejo polprevodniški material na podlago, pri čemer ni zahteve, ali je material podlage polprevodnik ali ne. Poleg tega je mogoče z difuzijo nečistoč in ionsko implantacijo na površino polprevodniškega substrata pripraviti premaze z različnimi električnimi in optičnimi lastnostmi. Nastalo tanko plast je mogoče obdelati tudi kot polprevodniški premaz na splošno.
Vakuumsko polprevodniško nanašanje premazov je nepogrešljiv del elektronike, tako za aktivne kot pasivne naprave. Z nenehnim napredkom tehnologije vakuumskega polprevodniškega nanašanja je postal mogoč natančen nadzor nad delovanjem premazov.
V zadnjih letih sta amorfna in polikristalna prevleka hitro napredovala pri izdelavi fotoprevodnih naprav, prevlečenih poljskih cevi in visoko učinkovitih sončnih celic. Poleg tega je zaradi razvoja vakuumskih polprevodniških prevlek in tankih filmov senzorjev, kar bistveno zmanjša težavnost izbire materiala in postopoma poenostavi proizvodni proces, oprema za vakuumsko polprevodniško prevleko postala nujna za polprevodniške aplikacije. Oprema se pogosto uporablja za polprevodniško prevleko kamer, sončnih celic, prevlečenih tranzistorjev, poljske emisije, katodne svetlobe, elektronske emisije, tankoplastnih senzorskih elementov itd.
Linija za magnetronsko brizganje je zasnovana s popolnoma avtomatskim krmilnim sistemom ter priročnim in intuitivnim vmesnikom človek-stroj na dotik. Linija je zasnovana s popolnim funkcijskim menijem za popolno spremljanje stanja delovanja vseh komponent proizvodne linije, nastavitev procesnih parametrov, zaščito delovanja in alarmnih funkcij. Celoten električni krmilni sistem je varen, zanesljiv in stabilen. Opremljena je z zgornjo in spodnjo dvostransko magnetronsko brizgalno tarčo ali enostranskim sistemom za nanašanje premazov.
Oprema se uporablja predvsem za keramične vezja, visokonapetostne kondenzatorje in druge substratne premaze, glavna področja uporabe pa so elektronska vezja.
Čas objave: 7. november 2022