අප කවුරුත් දන්නා පරිදි, අර්ධ සන්නායකයේ නිර්වචනය නම්, වියළි සන්නායක සහ පරිවාරක අතර සන්නායකතාවක් ඇති බවත්, ලෝහ සහ පරිවාරක අතර ප්රතිරෝධය සාමාන්යයෙන් කාමර උෂ්ණත්වයේ දී 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm පරාසයක පවතින බවත්ය. මෑත වසරවලදී, ප්රධාන අර්ධ සන්නායක සමාගම්වල රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපනය, විශේෂයෙන් චුම්භක විද්යුත් පරිවර්තන උපාංග, ආලෝක විමෝචක උපාංග සහ අනෙකුත් සංවර්ධන කටයුතු සඳහා සමහර මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පද්ධති පරිපථ සංවර්ධන තාක්ෂණ පර්යේෂණ ක්රමවල එහි තත්ත්වය වැඩි වැඩියෙන් ඉහළ ගොස් ඇති බව පැහැදිලිය. රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපනය වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
අර්ධ සන්නායක ඒවායේ ආවේණික ලක්ෂණ, උෂ්ණත්වය සහ අපිරිසිදු සාන්ද්රණය මගින් සංලක්ෂිත වේ. රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපන ද්රව්ය ප්රධාන වශයෙන් එහි සංඝටක සංයෝග මගින් එකිනෙකින් වෙන්කර හඳුනාගත හැකිය. දළ වශයෙන් සියල්ලම බෝරෝන්, කාබන්, සිලිකන්, ජර්මනියම්, ආසනික්, ඇන්ටිමනි, ටෙලුරියම්, අයඩින් ආදිය මත පදනම් වන අතර, සාපේක්ෂව ස්වල්පයක් GaP, GaAs, lnSb යනාදිය මත පදනම් වේ. FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, ආදිය වැනි සමහර ඔක්සයිඩ් අර්ධ සන්නායක ද ඇත.
රික්තක වාෂ්පීකරණය, ඉසින ආලේපනය, අයන ආලේපනය සහ අනෙකුත් උපකරණ රික්තක අර්ධ සන්නායක ආලේපනය කළ හැකිය. මෙම ආලේපන උපකරණ සියල්ලම ඒවායේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය අනුව වෙනස් වේ, නමුත් ඒවා සියල්ලම අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය ආලේපන ද්රව්ය උපස්ථරය මත තැන්පත් කර ඇති අතර, උපස්ථරයේ ද්රව්ය ලෙස, එය අර්ධ සන්නායකයක් විය හැකිද නැද්ද යන්න අවශ්ය නොවේ. ඊට අමතරව, විවිධ විද්යුත් සහ දෘශ්ය ගුණ ඇති ආලේපන, අපිරිසිදු විසරණය සහ අර්ධ සන්නායක උපස්ථරයේ මතුපිට අයන බද්ධ කිරීම යන දෙකින්ම පරාසයක සකස් කළ හැකිය. එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ලැබෙන තුනී ස්ථරය සාමාන්යයෙන් අර්ධ සන්නායක ආලේපනයක් ලෙසද සැකසිය හැක.
ක්රියාකාරී හෝ නිෂ්ක්රීය උපාංග සඳහා වේවා, ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපනය අත්යවශ්ය පැවැත්මකි. රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපන තාක්ෂණයේ අඛණ්ඩ දියුණුවත් සමඟ, චිත්රපට ක්රියාකාරිත්වය නිවැරදිව පාලනය කිරීමට හැකි වී තිබේ.
මෑත වසරවලදී, ප්රකාශ සන්නායක උපාංග, ආලේපිත ක්ෂේත්ර-ආචරණ නල සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතා සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනයේ දී අස්ඵටික ආලේපනය සහ බහු ස්ඵටික ආලේපනය වේගවත් ප්රගතියක් ලබා ඇත. ඊට අමතරව, රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපනය සහ සංවේදක තුනී පටල සංවර්ධනය හේතුවෙන්, ද්රව්ය තෝරා ගැනීමේ දුෂ්කරතාවය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරන අතර නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය ක්රමයෙන් සරල කරයි. රික්ත අර්ධ සන්නායක ආලේපන උපකරණ අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා අත්යවශ්ය පැවැත්මක් බවට පත්ව ඇත. කැමරා උපාංග, සූර්ය කෝෂ, ආලේපිත ට්රාන්සිස්ටර, ක්ෂේත්ර විමෝචනය, කැතෝඩ-ආලෝකය, ඉලෙක්ට්රෝන විමෝචනය, තුනී පටල සංවේදක මූලද්රව්ය ආදියෙහි අර්ධ සන්නායක ආලේපනය සඳහා උපකරණ බහුලව භාවිතා වේ.
මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් ආලේපන රේඛාව සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය පාලන පද්ධතියක්, පහසු සහ අවබෝධාත්මක ස්පර්ශ තිර මිනිස්-යන්ත්ර අතුරුමුහුණතක් සමඟ නිර්මාණය කර ඇත. සම්පූර්ණ නිෂ්පාදන රේඛා සංරචක සඳහා මෙහෙයුම් තත්ත්වය, ක්රියාවලි පරාමිති සැකසුම, මෙහෙයුම් ආරක්ෂාව සහ අනතුරු ඇඟවීමේ කාර්යයන් පිළිබඳ පූර්ණ අධීක්ෂණයක් ලබා ගැනීම සඳහා රේඛාව සම්පූර්ණ ක්රියාකාරී මෙනුවකින් නිර්මාණය කර ඇත. මුළු විදුලි පාලන පද්ධතියම ආරක්ෂිත, විශ්වාසදායක සහ ස්ථාවර වේ. ඉහළ සහ පහළ ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් ඉලක්කය හෝ තනි-පාර්ශ්වික ආලේපන පද්ධතියකින් සමන්විත වේ.
උපකරණ ප්රධාන වශයෙන් සෙරමික් පරිපථ පුවරු, චිප් අධි වෝල්ටීයතා ධාරිත්රක සහ අනෙකුත් උපස්ථර ආලේපන සඳහා යොදනු ලැබේ, ප්රධාන යෙදුම් ක්ෂේත්ර වන්නේ ඉලෙක්ට්රොනික පරිපථ පුවරු ය.
පළ කිරීමේ කාලය: නොවැම්බර්-07-2022