د ویکیوم ایون پلیټینګ (په لنډه توګه د آیون پلیټینګ) د سطحې درملنې یوه نوې ټیکنالوژي ده چې په 1970 لسیزه کې په چټکۍ سره رامینځته شوې، کوم چې په 1963 کې د متحده ایالاتو د سومډیا شرکت DM میټوکس لخوا وړاندیز شوی و. دا د ویکیوم فضا کې د فلم موادو تبخیر یا تویولو لپاره د تبخیر سرچینې یا سپټرینګ هدف کارولو پروسې ته اشاره کوي.
لومړی د فلم موادو د تودوخې او تبخیر له لارې د فلزي بخار تولیدول دي، کوم چې په جزوي ډول د ګاز خارجولو پلازما ځای کې د فلزي بخار او لوړ انرژي غیر جانبدار اتومونو ته ایون شوی دی، او د بریښنایی ساحې د عمل له لارې د فلم جوړولو لپاره سبسټریټ ته رسیږي؛ وروستی د لوړ انرژي ایونونو څخه کار اخلي (د مثال په توګه، Ar+) د فلم موادو سطح بمباري کوي ترڅو سپک شوي ذرات د ګاز خارجولو ځای له لارې په ایونونو یا لوړ انرژي غیر جانبدار اتومونو کې ایون شوي شي، او د سبسټریټ سطح احساس کړي ترڅو فلم جوړ کړي.
دا مقاله د ګوانګ دونګ ژین هوا لخوا خپره شوې، چې دد ویکیوم کوټینګ تجهیزات
د پوسټ وخت: مارچ-۱۰-۲۰۲۳