Som vi alle vet, er definisjonen av en halvleder at den har en konduktivitet mellom tørre ledere og isolatorer, og resistiviteten mellom metall og isolator, som vanligvis er innenfor området 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm ved romtemperatur. I de senere år har statusen til vakuumhalvlederbelegg blitt stadig høyere hos de store halvlederselskapene, spesielt innen forskning på storskala integrerte systemkretsutviklingsteknologi, samt forskning på magnetoelektriske konverteringsenheter og lysutstrålende enheter. Vakuumhalvlederbelegg spiller en viktig rolle.
Halvledere kjennetegnes av sine iboende egenskaper, temperatur og urenhetskonsentrasjon. Vakuumhalvlederbeleggmaterialer skilles fra hverandre hovedsakelig av de inngående forbindelsene. Omtrent alle er basert på bor, karbon, silisium, germanium, arsenikk, antimon, tellur, jod, etc., og noen relativt få GaP, GaAs, lnSb, etc.. Det finnes også noen oksidhalvledere, som FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, etc.
Vakuumfordampning, sputterbelegg, ionbelegg og annet utstyr kan utføre vakuumbelegg av halvledere. Disse beleggsutstyrene har forskjellige virkemåter, men de lager alle halvlederbelegg som avsettes på substratet, og det er ikke noe krav om substratmaterialet kan være en halvleder eller ikke. I tillegg kan belegg med forskjellige elektriske og optiske egenskaper fremstilles både ved diffusjon av urenheter og ionimplantasjon på overflaten av halvledersubstratet i et visst område. Det resulterende tynne laget kan også generelt bearbeides som et halvlederbelegg.
Vakuumhalvlederbelegg er en uunnværlig del av elektronikk, enten det er for aktive eller passive enheter. Med den kontinuerlige utviklingen av vakuumhalvlederbeleggteknologi har presis kontroll av filmytelse blitt mulig.
I de senere årene har amorfe belegg og polykrystallinske belegg gjort raske fremskritt innen produksjon av fotoledende enheter, belagte felteffektrør og høyeffektive solceller. I tillegg, på grunn av utviklingen av vakuumhalvlederbelegg og tynnfilm av sensorer, noe som også reduserer vanskeligheten med materialvalg betydelig og forenkler produksjonsprosessen gradvis. Vakuumhalvlederbeleggsutstyr har blitt en nødvendig tilstedeværelse for halvlederapplikasjoner. Utstyret er mye brukt for halvlederbelegg av kameraenheter, solceller, belagte transistorer, feltemisjon, katodelys, elektronemisjon, tynnfilmfølere, etc.
Magnetron-sputteringslinjen er designet med et helautomatisk kontrollsystem og et praktisk og intuitivt berøringsskjerm-menneske-maskin-grensesnitt. Linjen er designet med en komplett funksjonsmeny for å oppnå full overvåking av driftsstatusen for hele produksjonslinjekomponentene, innstilling av prosessparametere, driftsbeskyttelse og alarmfunksjoner. Hele det elektriske kontrollsystemet er trygt, pålitelig og stabilt. Utstyrt med øvre og nedre dobbeltsidig magnetron-sputteringsmål eller ensidig beleggsystem.
Utstyret brukes hovedsakelig på keramiske kretskort, høyspenningskondensatorer for brikker og andre substratbelegg, og de viktigste bruksområdene er elektroniske kretskort.
Publisert: 07. november 2022