Zoals we allemaal weten, is de definitie van een halfgeleider dat het een geleidbaarheid heeft tussen droge geleiders en isolatoren, en een soortelijke weerstand tussen metaal en isolator, die bij kamertemperatuur gewoonlijk tussen 1 mΩ-cm en 1 GΩ-cm ligt. De laatste jaren is de populariteit van vacuümcoating voor halfgeleiders bij grote halfgeleiderbedrijven steeds hoger geworden, met name in de ontwikkeling van grootschalige geïntegreerde circuitsystemen, technologische onderzoeksmethoden voor magneto-elektrische conversieapparaten, lichtgevende apparaten en andere ontwikkelingsprojecten. Vacuümcoating voor halfgeleiders speelt hierbij een belangrijke rol.
Halfgeleiders worden gekenmerkt door hun intrinsieke eigenschappen, temperatuur en concentratie van onzuiverheden. Coatingmaterialen voor vacuümhalfgeleiders onderscheiden zich voornamelijk van elkaar door hun bestanddelen. Vrijwel alle materialen zijn gebaseerd op boor, koolstof, silicium, germanium, arseen, antimoon, telluur, jodium, enz., en een relatief klein aantal op GaP, GaAs, lnSb, enz. Er zijn ook enkele oxidehalfgeleiders, zoals FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, enz.
Vacuümverdamping, sputtercoating, ionencoating en andere apparatuur kunnen vacuüm halfgeleidercoating uitvoeren. Deze coatingapparatuur verschilt qua werkingsprincipe, maar ze produceren allemaal een coating van halfgeleidermateriaal dat op het substraat wordt aangebracht. Het materiaal van het substraat is niet vereist of het een halfgeleider is of niet. Bovendien kunnen coatings met verschillende elektrische en optische eigenschappen worden geproduceerd door zowel diffusie van onzuiverheden als ionenimplantatie op het oppervlak van het halfgeleidersubstraat binnen een bepaald bereik. De resulterende dunne laag kan in het algemeen ook worden verwerkt als een halfgeleidercoating.
Vacuüm-halfgeleidercoating is een onmisbare factor in de elektronica, zowel voor actieve als passieve apparaten. Dankzij de voortdurende vooruitgang in de vacuüm-halfgeleidercoatingtechnologie is nauwkeurige controle over de filmprestaties mogelijk geworden.
De afgelopen jaren hebben amorfe en polykristallijne coatings snelle vooruitgang geboekt bij de productie van fotogeleidende componenten, gecoate veldeffectbuizen en hoogrenderende zonnecellen. Dankzij de ontwikkeling van vacuümhalfgeleidercoating en de dunne film van sensoren, die de materiaalkeuze aanzienlijk vereenvoudigt en het productieproces geleidelijk vereenvoudigt, is apparatuur voor vacuümhalfgeleidercoating een onmisbare aanwezigheid geworden voor halfgeleidertoepassingen. Deze apparatuur wordt veel gebruikt voor het coaten van camera's, zonnecellen, gecoate transistors, veldemissie, kathodelicht, elektronenemissie, dunnefilmsensorelementen, enz.
De magnetron sputtercoatinglijn is ontworpen met een volledig automatisch besturingssysteem en een handige en intuïtieve touchscreen mens-machine interface. De lijn is voorzien van een compleet functiemenu voor volledige monitoring van de operationele status van alle componenten van de productielijn, procesparameterinstellingen, bedrijfsbeveiliging en alarmfuncties. Het volledige elektrische besturingssysteem is veilig, betrouwbaar en stabiel. Uitgerust met een dubbelzijdig magnetron sputtertarget aan de boven- en onderkant of een enkelzijdig coatingsysteem.
De apparatuur wordt hoofdzakelijk toegepast op keramische printplaten, chiphoogspanningscondensatoren en andere substraatcoatings. De belangrijkste toepassingsgebieden zijn elektronische printplaten.
Plaatsingstijd: 07-11-2022