Il-kisi tal-joni bil-vakwu (fil-qosor, il-kisi tal-joni) huwa teknoloġija ġdida għat-trattament tal-wiċċ li żviluppat malajr fis-snin sebgħin, u ġiet proposta minn DM Mattox tal-Kumpanija Somdia fl-Istati Uniti fl-1963. Tirreferi għall-proċess tal-użu ta' sors ta' evaporazzjoni jew mira ta' sputtering biex tevapora jew sputtering il-materjal tal-film fl-atmosfera tal-vakwu.
Tal-ewwel huwa li jiġġenera fwar tal-metall billi jsaħħan u jevapora l-materjal tal-film, li huwa parzjalment jonizzat fi fwar tal-metall u atomi newtrali ta' enerġija għolja fl-ispazju tal-plażma tal-iskarika tal-gass, u jilħaq is-sottostrat biex jifforma film permezz tal-azzjoni tal-kamp elettriku; tal-aħħar juża joni ta' enerġija għolja (Pereżempju, Ar+) biex ibbumbardja l-wiċċ tal-materjal tal-film sabiex il-partiċelli sputtered jiġu jonizzati f'joni jew atomi newtrali ta' enerġija għolja permezz tal-ispazju tal-iskarika tal-gass, u jirrealizzaw il-wiċċ tas-sottostrat biex jifforma film.
Dan l-artiklu huwa ppubblikat minn Guangdong Zhenhua, manifattur ta'tagħmir tal-kisi bil-vakwu
Ħin tal-posta: 10 ta' Marzu 2023