व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंग (थोडक्यात आयन प्लेटिंग) ही एक नवीन पृष्ठभाग उपचार तंत्रज्ञान आहे जी १९७० च्या दशकात वेगाने विकसित होत आहे, जी १९६३ मध्ये युनायटेड स्टेट्समधील सोमडिया कंपनीच्या डीएम मॅटॉक्स यांनी प्रस्तावित केली होती. हे व्हॅक्यूम वातावरणात फिल्म मटेरियलचे बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग करण्यासाठी बाष्पीभवन स्रोत किंवा स्पटरिंग लक्ष्य वापरण्याच्या प्रक्रियेचा संदर्भ देते.
पहिले म्हणजे फिल्म मटेरियल गरम करून आणि बाष्पीभवन करून धातूची वाफ निर्माण करणे, जे गॅस डिस्चार्ज प्लाझ्मा स्पेसमध्ये अंशतः धातूच्या वाफेत आणि उच्च-ऊर्जा तटस्थ अणूंमध्ये आयनीकृत होते आणि विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेद्वारे फिल्म तयार करण्यासाठी सब्सट्रेटपर्यंत पोहोचते; नंतरचे उच्च-ऊर्जा आयन (उदाहरणार्थ, Ar+) वापरते जे फिल्म मटेरियलच्या पृष्ठभागावर बॉम्बफेक करते जेणेकरून थुंकलेले कण गॅस डिस्चार्जच्या जागेतून आयन किंवा उच्च-ऊर्जा तटस्थ अणूंमध्ये आयनीकृत होतात आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर फिल्म तयार होते.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ या उत्पादकाने प्रकाशित केला आहे, जोव्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे
पोस्ट वेळ: मार्च-१०-२०२३