Вакуум ионоор бүрэх (богинохондоо ион бүрэх) нь 1963 онд АНУ-ын Somdia компанийн DM Mattox-аас санал болгосон 1970-аад онд хурдацтай хөгжиж ирсэн гадаргуу цэвэрлэх шинэ технологи юм. Энэ нь вакуум дахь хальс материалыг ууршуулах, цацах зорилгоор ууршилтын эх үүсвэр эсвэл цацах зорилтыг ашиглах үйл явцыг хэлнэ.
Эхнийх нь хийн гадагшлуулах плазмын орон зайд металлын уур болон өндөр энергитэй төвийг сахисан атом болгон хэсэгчлэн ионжуулж, цахилгаан талбайн үйлчлэлээр хальс үүсгэх субстратад хүрч, хальсан материалыг халааж, ууршуулах замаар металлын уур үүсгэх; Сүүлийнх нь өндөр энергитэй ионуудыг ашигладаг (Жишээ нь, Ar+) нь хальсны материалын гадаргууг бөмбөгддөг бөгөөд ингэснээр цацагдсан тоосонцор нь хийн ялгаралтын орон зайгаар ионжуулж, өндөр энергитэй төвийг сахисан атом болгон хувиргаж, субстратын гадаргууг хальс үүсгэдэг.
Энэхүү нийтлэлийг үйлдвэрлэгч Guangdong Zhenhua нийтлэввакуум бүрэх төхөөрөмж
Шуудангийн цаг: 2023 оны 3-р сарын 10