Технологија на таложење со јонски зрак

① Технологијата на таложење со помош на јонски зрак се карактеризира со силна адхезија помеѓу филмот и подлогата, филмскиот слој е многу силен. Експериментите покажаа дека: адхезијата со помош на јонски зрак во споредба со термичкото таложење со пареа е неколку пати поголема, па дури и стотици пати поголема, причината е главно поради јонското бомбардирање на површината на ефектот на чистење, така што базата на мембраната формира градиентна меѓуфазна структура, или хибриден преоден слој, како и намалување на стресот на мембраната.

② Нанесувањето со помош на јонски зрак може да ги подобри механичките својства на филмот, да го продолжи векот на траење на замор, многу погодно за подготовка на оксиди, карбиди, кубни BN, TiB2 и дијамантски премази. На пример, кај челик отпорен на топлина 1Crl8Ni9Ti, употребата на технологија за нанесување со помош на јонски зрак за одгледување на тенки филмови од 200nm SiN, не само што може да го спречи појавувањето на пукнатини од замор на површината на материјалот, туку може значително да ја намали стапката на дифузија на пукнатини од замор, што има добра улога во продолжувањето на неговиот век на траење.

③ Депозицијата со помош на јонски зрак може да ја промени природата на стресот на филмот и неговата кристална структура. На пример, при подготовка на Cr филм со бомбардирање на површината на подлогата од 11.5keV Xe+ или Ar+, откриено е дека прилагодувањето на температурата на подлогата, енергијата на бомбардирањето на јоните, односот на пристигнување на јони и атоми и други параметри, може да го промени стресот од затегнувачки во компресивен стрес, што исто така ќе предизвика промени во кристалната структура на филмот. Под одреден однос на јони спрема атоми, депозицијата со помош на јонски зрак има подобра селективна ориентација од мембранскиот слој депониран со термичко таложење на пареа.

④ Депозицијата со помош на јонски зрак може да ја зголеми отпорноста на корозија и отпорноста на оксидација на мембраната. Бидејќи таложењето со помош на јонски зрак на мембранскиот слој е густо, структурата на мембранскиот интерфејс на базата се подобрува или се формира аморфна состојба, што е предизвикано од исчезнувањето на границата на зрната помеѓу честичките, што е погодно за зголемување на отпорноста на корозија и отпорноста на оксидација на материјалот.

Зголемете ја отпорноста на корозија на материјалот и спротивставете се на оксидирачкиот ефект на висока температура.

(5) Депозицијата потпомогната со јонски зрак може да ги промени електромагнетните својства на филмот и да ги подобри перформансите на оптичките тенки филмови. (6) Депозицијата потпомогната со јони овозможува раст на разни тенки филмови на ниски температури и ги избегнува негативните ефекти врз материјалите или прецизните делови што би биле предизвикани од третманот на високи температури, бидејќи параметрите поврзани со атомското депозиција и имплантацијата на јони можат да се прилагодат прецизно и независно, а облоги од неколку микрометри со конзистентен состав можат континуирано да се генерираат при ниски енергии на бомбардирање.