Vakuuma jonu pārklāšana (īsumā jonu pārklāšana) ir jauna virsmas apstrādes tehnoloģija, kas strauji attīstījās 20. gs. septiņdesmitajos gados un ko 1963. gadā ierosināja DM Mattox no Somdia Company Amerikas Savienotajās Valstīs. Tā attiecas uz procesu, kurā plēves materiālu vakuuma atmosfērā iztvaicē vai izsmidzināšanas veidā izmanto iztvaikošanas avotu vai izsmidzināšanas mērķi.
Pirmais ir metāla tvaiku ģenerēšana, karsējot un iztvaicējot plēves materiālu, kas gāzizlādes plazmas telpā daļēji jonizējas metāla tvaikos un augstas enerģijas neitrālos atomos un sasniedz substrātu, veidojot plēvi elektriskā lauka ietekmē; otrajā tiek izmantoti augstas enerģijas joni (piemēram, Ar+), kas bombardē plēves materiāla virsmu, lai izsmidzinātās daļiņas jonizētos jonos vai augstas enerģijas neitrālos atomos caur gāzizlādes telpu un realizētu substrāta virsmu, veidojot plēvi.
Šo rakstu publicējis uzņēmums Guangdong Zhenhua, kas ir ražotājs.vakuuma pārklāšanas iekārtas
Publicēšanas laiks: 2023. gada 10. marts