Vakuuminis joninis dengimas (trumpai – joninis dengimas) yra nauja paviršiaus apdorojimo technologija, sparčiai išvystyta aštuntajame dešimtmetyje, kurią 1963 m. pasiūlė DM Mattox iš „Somdia Company“ Jungtinėse Valstijose. Tai procesas, kai plėvelės medžiaga vakuuminėje atmosferoje išgarinama arba purškiama naudojant garinimo šaltinį arba purškimo taikinį.
Pirmasis būdas – kaitinant ir garinant plėvelės medžiagą, kuri iš dalies jonizuojama į metalo garus ir didelės energijos neutralius atomus dujų išlydžio plazmos erdvėje ir pasiekia substratą, kad elektrinio lauko veikimu susidarytų plėvelė; antrasis būdas – didelės energijos jonai (pavyzdžiui, Ar+) bombarduoja plėvelės medžiagos paviršių, kad išpurkštos dalelės jonizuotųsi į jonus arba didelės energijos neutralius atomus per dujų išlydžio erdvę ir suformuotų substrato paviršių, kad susidarytų plėvelė.
Šį straipsnį paskelbė „Guangdong Zhenhua“, gaminanti...vakuuminio dengimo įranga
Įrašo laikas: 2023 m. kovo 10 d.